適用コントローラ : SR100
名称 | PVR1130 | |
---|---|---|
形式 | XU-ACP130-R00 | |
適用ウエハサイズ | 300 mm | |
動作範囲 | θ軸 | 無制限 |
ノッチ合せ精度 | ±0.03° | |
位置合せ時間 | 1.7 s以下 | |
ウエハエッジセンサ | CCDセンサ | |
センサ光源 | LED | |
ウエハ把持 | ウエハ吸着 | |
概略質量 | 5.8 kg | |
概略寸法 | 158(幅)×183.5(高さ)×317(奥行) mm |
名称 | PER1130 | |
---|---|---|
形式 | XU-ACP330-R00 | |
適用ウエハサイズ | 300 mm | |
動作範囲 | θ軸 | 無制限(ソフトリミットあり) |
ノッチ合せ精度 | ±0.1° | |
位置合せ時間 | 5.0 s以下 | |
ノッチ検出センサ | LEDセンサ | |
センサ光源 | - | |
ウエハ把持 | エッジグリップ方式 | |
概略質量 | 8.8 kg | |
概略寸法 | 210(幅)×314.5(高さ)×330(奥行) mm |
Copyright(C)2001‐2021 YASKAWA ELECTRIC CORPORATION All Rights Reserved.