半導体ウエハ搬送用 周辺装置
SR100対応 吸着式/エッジグリップ式プリアライナ
吸着式プリアライナ PVR1130
- アライメント精度70%以上の改善、高精度化を実現
- アライメント時間50%以上の改善、高速化を実現
- ウエハ方向へ23 mmの寸法削減
エッジグリップ式プリアライナ PER1130
- アライメント精度30%以上の改善、高精度化を実現
- アライメント時間10%の改善、高速化を実現
適用コントローラ : SR100
- 仕様
PVR1130(吸着式プリアライナ)
| 名称 | PVR1130 | |
|---|---|---|
| 形式 | XU-ACP130-R00 | |
| 適用ウエハサイズ | 300 mm | |
| 動作範囲 | θ軸 | 無制限 |
| ノッチ合せ精度 | ±0.03° | |
| 位置合せ時間 | 1.7 s以下 | |
| ウエハエッジセンサ | CCDセンサ | |
| センサ光源 | LED | |
| ウエハ把持 | ウエハ吸着 | |
| 概略質量 | 5.8 kg | |
| 概略寸法 | 158(幅)×183.5(高さ)×317(奥行) mm | |
PER1130(エッジグリップ式プリアライナ)
| 名称 | PER1130 | |
|---|---|---|
| 形式 | XU-ACP330-R00 | |
| 適用ウエハサイズ | 300 mm | |
| 動作範囲 | θ軸 | 無制限(ソフトリミットあり) |
| ノッチ合せ精度 | ±0.1° | |
| 位置合せ時間 | 5.0 s以下 | |
| ノッチ検出センサ | LEDセンサ | |
| センサ光源 | - | |
| ウエハ把持 | エッジグリップ方式 | |
| 概略質量 | 8.8 kg | |
| 概略寸法 | 210(幅)×314.5(高さ)×330(奥行) mm | |
Copyright(C)2001‐2021 YASKAWA ELECTRIC CORPORATION All Rights Reserved.