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適用コントローラ : SR200
| 名称 | SEMISTAR-MU124D | |
|---|---|---|
| 仕様 | 標準 | |
| 適用ウエハサイズ | 300 mm(SEMI規格準拠品) | |
| ウエハ把持方式 | 真空吸着/エッジグリップ | |
| 標準エンドエフェクタ長 | 345 mm | |
| 自由度 | 5自由度 | |
| 動作範囲 | EX軸(伸縮) | 1215 mm∗3 |
| TH軸(旋回) | 330° | |
| Z軸(昇降) | 480 mm | |
| H軸(回転) | 440° | |
| 最小回転半径 | 510 mm | |
| 位置繰返し精度∗1 | 0.1 mm(P-P) | |
| 本体質量 | 82 kg | |
| クリーン度∗2 | ISOクラス1 | |
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