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適用コントローラ : SR200
名称 | SEMISTAR-MU124DLZ CR | ||
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仕様 | 耐食、昇降軸ロングストローク | ||
適用ウエハサイズ | 300 mm(SEMI規格準拠品) | ||
ウエハ把持方式 | 真空吸着/エッジグリップ | ||
標準エンドエフェクタ長 | 345 mm | ||
自由度 | 5自由度 | ||
動作範囲 | EX軸(伸縮) | 1215 mm∗3 | |
TH軸(旋回) | 330° | ||
Z軸(昇降) | 805 mm | ||
H軸(回転) | 440° | ||
最小回転半径 | 510 mm | ||
位置繰返し精度∗1 | 0.1 mm(P-P) | ||
本体質量 | 147.5 kg | ||
クリーン度∗2 | ISOクラス1 |
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