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適用コントローラ : SR200
名称 | SEMISTAR-MU201D | |
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仕様 | 標準 | |
適用ウエハサイズ | 300 mm(SEMI規格準拠品) | |
ウエハ把持方式 | 真空吸着/エッジグリップ | |
標準エンドエフェクタ長 | 315 mm | |
自由度 | 4自由度 | |
動作範囲 | R軸(伸縮) | 657 mm∗3 |
TH軸(旋回) | 360° | |
Z軸(昇降) | 380 mm | |
最小回転半径 | 255 mm | |
位置繰返し精度∗1 | 0.1 mm(P-P) | |
本体質量 | 45 kg | |
クリーン度∗2 | ISOクラス1 |
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