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名称 | SEMISTAR-VS22LDS | |
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適用ウエハサイズ | ~300 mm(SEMI規格準拠品) | |
ウエハ把持方式 | パッシブグリップ | |
標準エンドエフェクタ長 | 220 mm*3 | |
自由度 | 2自由度 | |
動作範囲 | R軸(伸縮) | 475 mm |
T軸(旋回) | CW:190°、CCW:160° | |
Z軸(昇降) | - | |
最小回転半径 | 320 mm*3 | |
位置繰返し精度∗1 | 0.1 mm(P-P) | |
本体質量 | 22 kg | |
対応真空度∗2 | 低 |
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