半導体ウエハ、有機EL·液晶·太陽電池用ガラス搬送

2軸水平多関節:SEMISTAR-VS22LDS

SEMISTAR-VS22LDS
  • コンパクトで軽量な低真空用モデル
  • バッテリーレス絶対値エンコーダを搭載
適用ウエハサイズ
~300 mm
対応真空度

適用コントローラ : SR200

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  • 仕様
名称 SEMISTAR-VS22LDS
適用ウエハサイズ ~300 mm(SEMI規格準拠品)
ウエハ把持方式 パッシブグリップ
標準エンドエフェクタ長 220 mm*3
自由度 2自由度
動作範囲 R軸(伸縮) 475 mm
T軸(旋回) CW:190°、CCW:160°
Z軸(昇降) -
最小回転半径 320 mm*3
位置繰返し精度∗1 0.1 mm(P-P)
本体質量 22 kg
対応真空度∗2
∗1
JIS B 8432 ポーズ繰返し精度に準拠しています。
∗2
お客様の使用環境により変わります。極高真空(10E-7Pa)対応の実績もありますので、詳細は当社営業部門にお問い合わせください。
∗3
当社規定エンドエフェクタ使用時の数値です。

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