搬送・移載を高精度・低振動で実現!
半導体ウエハ、有機EL・液晶・太陽電池用ガラス搬送
各ウエハサイズ、ガラス基板サイズに対応するロボットをフルラインアップ。高速・高精度な搬送・移載を提供します。
半導体ウエハ搬送用クリーンロボット SEMISTARシリーズ大気環境用 |
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製品ラインアップ | 仕様 | 自由度/アーム方式 | 対応FOUP数 |
有機EL・液晶・太陽電池用ガラス搬送用クリーンロボット SEMISTARシリーズ |
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製品ラインアップ | 動作軸数 / アーム方式 | 可搬質量 | 対応ガラス 基盤サイズ |
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