搬送・移載を高精度・低振動で実現！
半導体ウエハ、有機EL・液晶・太陽電池用ガラス搬送
半導体ウエハ ハンドリングロボット SEMISTAR-Mシリーズ、真空内ハンドリングロボット SEMISTAR-Vシリーズ、それぞれ各ウエハサイズ、ガラス基板サイズに対応するロボットをフルラインアップ。高速・高精度な搬送・移載を提供します。
ラインアップ
半導体ウエハ ハンドリングロボット SEMISTAR-Mシリーズ |
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|---|---|---|---|
| 製品ラインアップ | 動作軸数 / アーム方式 | 対応ウエハサイズ | 対応FOUP数 |
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5軸/単腕 | 300 mm | 4FOUP | |
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5軸/単腕 | 300 mm 450 mm |
4FOUP | |
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3軸/単腕 | 200 mm 300 mm |
4FOUP∗ | |
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4軸/双腕 | 200 mm 300 mm |
4FOUP∗ | |
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4軸/単腕 | 200 mm 300 mm |
2FOUP | |
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5軸/単腕 | 200 mm 300 mm |
2FOUP | |
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5軸/単腕 | 200 mm 300 mm 450 mm |
4FOUP |
∗ 走行軸搭載時
真空内ハンドリングロボット SEMISTAR-Vシリーズ |
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|---|---|---|---|
| 製品ラインアップ | 動作軸数 / アーム方式 | 可搬質量 | 対応ガラス 基盤サイズ |
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3軸/単腕 | 10 kg | 最大400×500 mm | |
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4軸/双腕 | 10 kg/アーム | 最大400×500 mm | |
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3軸/単腕 | 20 kg | 最大460×730 mm | |
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4軸/双腕 | 20 kg/アーム | 最大460×730 mm | |
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3軸/単腕 | 35 kg | 最大730×920 mm | |
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4軸/双腕 | 35 kg/アーム | 最大730×920 mm | |
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3軸/単腕 | 40 kg | 最大1250×2250 mm | |
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4軸/双腕 | 40 kg/アーム | 最大1250×2250 mm | |
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4軸/双腕 | 95 kg/アーム | 最大730×920 mm |
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