搬送・移載を高精度・低振動で実現！

半導体ウエハ、有機EL・液晶・太陽電池用ガラス搬送

半導体ウエハハンドリングロボット SEMISTAR-Mシリーズ、真空内ハンドリングロボット SEMISTAR-Vシリーズ、それぞれ各ウエハサイズ、ガラス基板サイズに対応するロボットをフルラインアップ。高速・高精度な搬送・移載を提供します。

ラインアップ

半導体ウエハハンドリングロボット SEMISTAR-Mシリーズ
製品ラインアップ	動作軸数 / アーム方式	対応ウエハサイズ	対応FOUP数

SEMISTAR-GEKKO MD124D		5軸/単腕	300 mm	4FOUP
SEMISTAR-MR124		5軸/単腕	300 mm 450 mm	4FOUP
SEMISTAR-M101		3軸/単腕	200 mm 300 mm	4FOUP^∗
SEMISTAR-M201		4軸/双腕	200 mm 300 mm	4FOUP^∗
SEMISTAR-M112		4軸/単腕	200 mm 300 mm	2FOUP
SEMISTAR-M122		5軸/単腕	200 mm 300 mm	2FOUP
SEMISTAR-M124		5軸/単腕	200 mm 300 mm 450 mm	4FOUP

∗ 走行軸搭載時

真空内ハンドリングロボット SEMISTAR-Vシリーズ
製品ラインアップ	動作軸数 / アーム方式	可搬質量	対応ガラス基盤サイズ

SEMISTAR-VD10S		3軸/単腕	10 kg	最大400×500 mm
SEMISTAR-VD10D		4軸/双腕	10 kg/アーム	最大400×500 mm
SEMISTAR-VD20S		3軸/単腕	20 kg	最大460×730 mm
SEMISTAR-VD20D		4軸/双腕	20 kg/アーム	最大460×730 mm
SEMISTAR-VD35S-G4A		3軸/単腕	35 kg	最大730×920 mm
SEMISTAR-VD35D-G4A		4軸/双腕	35 kg/アーム	最大730×920 mm
SEMISTAR-VD40S		3軸/単腕	40 kg	最大1250×2250 mm
SEMISTAR-VD40D-G6A		4軸/双腕	40 kg/アーム	最大1250×2250 mm
SEMISTAR-VD95D		4軸/双腕	95 kg/アーム	最大730×920 mm

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