搬送・移載を高精度・低振動で実現！

半導体ウエハ搬送

半導体ウエハ搬送用のSEMISTARシリーズは、微細化、多層化など、進化を続ける半導体技術に貢献する製品をフルラインアップ。当社独自の設計技術で、ウエハへのダメージ低減など、更なる付加価値を提供します。

ラインアップ

半導体ウエハ搬送用クリーンロボット SEMISTARシリーズ大気環境用
製品ラインアップ	仕様	自由度/アーム方式	対応FOUP数

半導体ウエハ搬送用クリーンロボット SEMISTARシリーズ真空環境用
製品ラインアップ	自由度/アーム方式	対応真空度

	2024国際ウエルディングショー会期：2024年4月24日（水）～27日（土）会場：インテックス大阪

	IIFES 2024 会期：2024年1月31日（水）～2月2日（金）会場：東京ビッグサイト

	iREX 2023 会期：2023年11月29日（水）～12月2日（土）会場：東京ビッグサイト・オンライン開催