搬送・移載を高精度・低振動で実現！
半導体ウエハ、有機EL・液晶・太陽電池用ガラス搬送
各ウエハサイズ、ガラス基板サイズに対応するロボットをフルラインアップ。高速・高精度な搬送・移載を提供します。
半導体ウエハ搬送用クリーンロボット SEMISTARシリーズ大気環境用 |
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|---|---|---|---|
| 製品ラインアップ | 仕様 | 自由度/アーム方式 | 対応FOUP数 |
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標準 | 5自由度/単腕 | 4FOUP | |
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標準 | 5自由度/単腕 | 4FOUP | |
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昇降軸ロングストローク | 5自由度/単腕 | 4FOUP |
半導体ウエハ搬送用クリーンロボット SEMISTARシリーズ真空環境用 |
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|---|---|---|
| 製品ラインアップ | 自由度/アーム方式 | 対応真空度 |
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4自由度/単腕 | 高 | |
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4自由度/双腕 | 高 | |
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2自由度/単腕 | 低 |
有機EL・液晶・太陽電池用ガラス搬送用クリーンロボット SEMISTARシリーズ |
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| 製品ラインアップ | 動作軸数 / アーム方式 | 可搬質量 | 対応ガラス 基盤サイズ |
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3軸/単腕 | 10 kg | 最大400×500 mm | |
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4軸/双腕 | 10 kg/アーム | 最大400×500 mm | |
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3軸/単腕 | 20 kg | 最大460×730 mm | |
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4軸/双腕 | 20 kg/アーム | 最大460×730 mm | |
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3軸/単腕 | 35 kg | 最大730×920 mm | |
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4軸/双腕 | 35 kg/アーム | 最大730×920 mm | |
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3軸/単腕 | 40 kg | 最大1250×2250 mm | |
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4軸/双腕 | 40 kg/アーム | 最大1250×2250 mm | |
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4軸/双腕 | 95 kg/アーム | 最大730×920 mm |
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