搬送・移載を高精度・低振動で実現!

半導体ウエハ、有機EL・液晶・太陽電池用ガラス搬送

各ウエハサイズ、ガラス基板サイズに対応するロボットをフルラインアップ。高速・高精度な搬送・移載を提供します。

ラインアップ

半導体ウエハ搬送用クリーンロボット SEMISTARシリーズ大気環境用

製品ラインアップ 仕様 自由度/アーム方式 対応FOUP数

SEMISTAR-GEKKO MD124D

SEMISTAR-GEKKO MD124D 標準 5自由度/単腕 4FOUP

SEMISTAR-MU124D

SEMISTAR-MU124D 標準 5自由度/単腕 4FOUP

SEMISTAR-MU124DLZ CR

SEMISTAR-MU124DLZ CR 昇降軸ロングストローク 5自由度/単腕 4FOUP

半導体ウエハ搬送用クリーンロボット SEMISTARシリーズ真空環境用

製品ラインアップ 自由度/アーム方式 対応真空度

SEMISTAR-GEKKO VD31HDA

SEMISTAR-GEKKO VD31HDA 4自由度/単腕

SEMISTAR-GEKKO VD31HQF

SEMISTAR-GEKKO VD31HQF 4自由度/双腕

SEMISTAR-VS22LDS

SEMISTAR-VS22LDS 2自由度/単腕

有機EL・液晶・太陽電池用ガラス搬送用クリーンロボット SEMISTARシリーズ

製品ラインアップ 動作軸数 / アーム方式 可搬質量 対応ガラス
基盤サイズ

SEMISTAR-VD10S

SEMISTAR-VD10S 3軸/単腕 10 kg 最大400×500 mm

SEMISTAR-VD10D

SEMISTAR-VD10D 4軸/双腕 10 kg/アーム 最大400×500 mm

SEMISTAR-VD20S

SEMISTAR-VD20S 3軸/単腕 20 kg 最大460×730 mm

SEMISTAR-VD20D

SEMISTAR-VD20D 4軸/双腕 20 kg/アーム 最大460×730 mm

SEMISTAR-VD35S-G4A

SEMISTAR-VD35S-G4A 3軸/単腕 35 kg 最大730×920 mm

SEMISTAR-VD35D-G4A

SEMISTAR-VD35D-G4A 4軸/双腕 35 kg/アーム 最大730×920 mm

SEMISTAR-VD40S

SEMISTAR-VD40S 3軸/単腕 40 kg 最大1250×2250 mm

SEMISTAR-VD40D-G6A

SEMISTAR-VD40D-G6A 4軸/双腕 40 kg/アーム 最大1250×2250 mm

SEMISTAR-VD95D

SEMISTAR-VD95D 4軸/双腕 95 kg/アーム 最大730×920 mm

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