半導体ウエハ、有機EL·液晶·太陽電池用ガラス搬送

5軸水平多関節:SEMISTAR-GEKKO MD124D

SEMISTAR-GEKKO MD124D
  • ダイレクトドライブモータの採用により、ウエハへのストレスは最小限に高速・高精度な搬送を実現
  • バッテリーレスを実現
適用ウエハサイズ
300 mm
対応FOUP数
4FOUP

適用コントローラ : SR200

お問い合わせ カタログ
  • 仕様
名称 SEMISTAR-GEKKO MD124D SEMISTAR-GEKKO MD124D
SEMISTAR-GEKKO MD124D SEMISTAR-GEKKO MD124D CR
仕様 標準 耐食
適用ウエハサイズ 300 mm(SEMI規格準拠品)
ウエハ把持方式 パッシブグリップ(真空吸着グリップ、エッジグリップも対応可能)
標準エンドエフェクタ長 345 mm
自由度 5自由度
動作範囲 EX軸(伸縮) 1215 mm∗3
TH軸(旋回) 330°
Z軸(昇降) 480 mm 468 mm
H軸(回転) 440°
最小回転半径 510 mm
位置繰返し精度∗1 0.05 mm(P-P)
本体質量 86 kg 93 kg
クリーン度∗2 ISOクラス1
∗1
JIS B 8432 ポーズ繰返し精度に準拠しています。
∗2
0.3 m/sのダウンフロー環境下、当社推奨の設置条件によります。
∗3
マニピュレータ旋回中心位置~ウエハ中心位置(当社標準300 mm対応エンドエフェクタ使用時)

YoutubeYouTube 【安川電機】e-メカサイトチャンネル

PAGE TOP