製品・技術情報
サイト
適用コントローラ : SR200
名称 | ![]() |
![]() |
|
---|---|---|---|
SEMISTAR-GEKKO MD124D | SEMISTAR-GEKKO MD124D CR | ||
仕様 | 標準 | 耐食 | |
適用ウエハサイズ | 300 mm(SEMI規格準拠品) | ||
ウエハ把持方式 | パッシブグリップ(真空吸着グリップ、エッジグリップも対応可能) | ||
標準エンドエフェクタ長 | 345 mm | ||
自由度 | 5自由度 | ||
動作範囲 | EX軸(伸縮) | 1215 mm∗3 | |
TH軸(旋回) | 330° | ||
Z軸(昇降) | 480 mm | 468 mm | |
H軸(回転) | 440° | ||
最小回転半径 | 510 mm | ||
位置繰返し精度∗1 | 0.05 mm(P-P) | ||
本体質量 | 86 kg | 93 kg | |
クリーン度∗2 | ISOクラス1 |
Copyright(C)2001‐2025 YASKAWA ELECTRIC CORPORATION All Rights Reserved.