半導体ウエハ、有機EL·液晶·太陽電池用ガラス搬送

4軸水平多関節:SEMISTAR-GEKKO VD31HQF

SEMISTAR-GEKKO VD31HQF

片腕に2枚のウエハを保持し、2つのプロセスチャンバーに同時搬送可能

適用ウエハサイズ
~300 mm
対応真空度

適用コントローラ : SR200

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  • 仕様
名称 SEMISTAR-GEKKO VD31HQF
適用ウエハサイズ ~300 mm(SEMI規格準拠品)
ウエハ把持方式 パッシブグリップ
標準エンドエフェクタ長 468 mm*3
自由度 4自由度
動作範囲 R軸(伸縮) 951 mm
T軸(旋回) 360°(エンドレス)
Z軸(昇降) 100 mm
最小回転半径 490 mm*3
位置繰返し精度∗1 0.05 mm(P-P)
本体質量 120 kg
対応真空度∗2
∗1
JIS B 8432 ポーズ繰返し精度に準拠しています。
∗2
お客様の使用環境により変わります。極高真空(10E-7Pa)対応の実績もありますので、詳細は当社営業部門にお問い合わせください。
∗3
当社規定エンドエフェクタ使用時の数値です。

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