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適用コントローラ : SR200
名称 | SEMISTAR-GEKKO VD31HQF-C | |
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適用ウエハサイズ | ~300 mm(SEMI規格準拠品) | |
ウエハ把持方式 | パッシブグリップ | |
標準エンドエフェクタ長 | 468 mm∗3 | |
自由度 | 4自由度 | |
動作範囲 | R軸(伸縮) | 951 mm∗3 |
T軸(旋回) | 360°(エンドレス) | |
Z軸(昇降) | 150 mm | |
最小回転半径 | 490 mm∗3 | |
位置繰返し精度∗1 | 0.05 mm(P-P) | |
本体質量 | 112 kg | |
対応真空度∗2 | 高 |
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