製品・技術情報
サイト
適用コントローラ : SR200
| 名称 | SEMISTAR-GEKKO VD31HDA-C | |
|---|---|---|
| 適用ウエハサイズ | ~300 mm(SEMI規格準拠品) | |
| ウエハ把持方式 | パッシブグリップ | |
| 標準エンドエフェクタ長 | 618.8 mm∗3 | |
| 自由度 | 4自由度 | |
| 動作範囲 | R軸(伸縮) | 968 mm∗3 |
| T軸(旋回) | 360°(エンドレス) | |
| Z軸(昇降) | 150 mm | |
| 最小回転半径 | 427.5 mm∗3 | |
| 位置繰返し精度∗1 | 0.05 mm(P-P) | |
| 本体質量 | 109 kg | |
| 対応真空度∗2 | 高 | |
Copyright(C)2001‐2025 YASKAWA ELECTRIC CORPORATION All Rights Reserved.


