半導体ウエハ搬送用 周辺装置
NXC100対応 吸着式/エッジグリップ式プリアライナ
吸着式プリアライナ PV11
- コンパクト設計により、298×115 mmの小フットプリントを実現
- ステージまでの厚みを薄型化(55 mm)
- 高速、高精度を実現
エッジグリップ式プリアライナ PE11B
- ウエハのノッチ合わせ、中心合わせをプリアライナ単独で行うことが可能
- 高速、高精度を実現
適用コントローラ : NXC100 (ウエハ搬送ロボット用)
- 仕様
PV11(吸着式プリアライナ)
| 名称 | PV11 | |
|---|---|---|
| 形式 | XU-ACP130-A13 | |
| 適用ウエハサイズ | 300 mm∗ | |
| 動作範囲 | θ軸 | 無制限 |
| ノッチ合せ精度 | ±0.1° | |
| 位置合せ時間 | 3.5 s以下 | |
| ウエハエッジセンサ | CCDセンサ | |
| センサ光源 | LED | |
| ウエハ把持 | 真空吸着方式 | |
| 概略質量 | 3.9 kg | |
| 概略寸法 | 115(幅)×171(高さ)×328(奥行) mm | |
- ∗
- センサ部の設定位置変更で200 mmウエハに対応可能な共用タイプも準備しています。
PE11B(エッジグリップ式プリアライナ)
| 名称 | PE11B | |
|---|---|---|
| 形式 | XU-ACP330-B30 | |
| 適用ウエハサイズ | 300 mm | |
| 動作範囲 | θ軸 | 無制限 |
| ノッチ合せ精度 | ±0.1° | |
| 位置合せ時間 | 5.5 s以下 | |
| ノッチ検出センサ | LEDセンサ | |
| センサ光源 | - | |
| ウエハ把持 | エッジグリップ方式 | |
| 概略質量 | 7 kg | |
| 概略寸法 | 348(幅)×246(高さ)×210(奥行) mm | |
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