適用コントローラ : NXC100 (ウエハ搬送ロボット用)
名称 | PV11 | |
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形式 | XU-ACP130-A13 | |
適用ウエハサイズ | 300 mm∗ | |
動作範囲 | θ軸 | 無制限 |
ノッチ合せ精度 | ±0.1° | |
位置合せ時間 | 3.5 s以下 | |
ウエハエッジセンサ | CCDセンサ | |
センサ光源 | LED | |
ウエハ把持 | 真空吸着方式 | |
概略質量 | 3.9 kg | |
概略寸法 | 115(幅)×171(高さ)×328(奥行) mm |
名称 | PE11B | |
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形式 | XU-ACP330-B30 | |
適用ウエハサイズ | 300 mm | |
動作範囲 | θ軸 | 無制限 |
ノッチ合せ精度 | ±0.1° | |
位置合せ時間 | 5.5 s以下 | |
ノッチ検出センサ | LEDセンサ | |
センサ光源 | - | |
ウエハ把持 | エッジグリップ方式 | |
概略質量 | 7 kg | |
概略寸法 | 348(幅)×246(高さ)×210(奥行) mm |
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