半導体ウエハ搬送用クリーンロボットSEMISTARシリーズ

大気環境用

  • SEMISTAR-GEKKO MD124D

    SEMISTAR-GEKKO MD124D

    5軸水平多関節 単腕型

    仕様:標準

    対応FOUP数:4 FOUP

  • SEMISTAR-MU124D

    SEMISTAR-MU124D

    5軸水平多関節 単腕型

    仕様:標準

    対応FOUP数:4 FOUP


  • SEMISTAR-MU124DLZ CR

    SEMISTAR-MU124DLZ CR

    5軸水平多関節 単腕型

    仕様:昇降軸ロングストローク

    対応FOUP数:4 FOUP


真空環境用