半導体ウエハ搬送用クリーンロボットSEMISTAR-Mシリーズ
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SEMISTAR-M112
4軸水平多関節 単腕形 (1ブレード)
対応ウエハサイズ:200 mm/300 mm
対応FOUP数:2 FOUP
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SEMISTAR-M122
5軸水平多関節 単腕形 (2ブレード)
対応ウエハサイズ:200 mm/300 mm
対応FOUP数:2 FOUP
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SEMISTAR-M124
5軸水平多関節 単腕形
対応ウエハサイズ:
200 mm/300 mm/450 mm
対応FOUP数:4 FOUP
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- 走行軸搭載時