半導体ウエハ搬送用クリーンロボットSEMISTAR-Mシリーズ

  • SEMISTAR-GEKKO MD124D

    SEMISTAR-GEKKO MD124D

    5軸水平多関節 単腕形

    対応ウエハサイズ：300 mm

    対応FOUP数：4 FOUP

  • SEMISTAR-MR124

    SEMISTAR-MR124

    5軸水平多関節 単腕形

    対応ウエハサイズ：300 mm/450 mm

    対応FOUP数：4 FOUP

  • SEMISTAR-M101

    SEMISTAR-M101

    3軸水平多関節 単腕形

    対応ウエハサイズ：200 mm/300 mm

    対応FOUP数：4 FOUP∗

  • SEMISTAR-M201

    SEMISTAR-M201

    4軸水平多関節 双腕形

    対応ウエハサイズ：200 mm/300 mm

    対応FOUP数：4 FOUP∗

  • SEMISTAR-M112

    SEMISTAR-M112

    4軸水平多関節 単腕形 (1ブレード)

    対応ウエハサイズ：200 mm/300 mm

    対応FOUP数：2 FOUP

  • SEMISTAR-M122

    SEMISTAR-M122

    5軸水平多関節 単腕形 (2ブレード)

    対応ウエハサイズ：200 mm/300 mm

    対応FOUP数：2 FOUP

  • SEMISTAR-M124

    SEMISTAR-M124

    5軸水平多関節 単腕形

    対応ウエハサイズ：
    200 mm/300 mm/450 mm

    対応FOUP数：4 FOUP

    • ∗
    走行軸搭載時

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