半導体ウエハ搬送用クリーンロボットSEMISTARシリーズ

大気環境用

  • SEMISTAR-GEKKO MD124D

    SEMISTAR-GEKKO MD124D

    5軸水平多関節 単腕型

    仕様:標準

    対応FOUP数:4 FOUP

  • SEMISTAR-MU124D

    SEMISTAR-MU124D

    5軸水平多関節 単腕型

    仕様:標準

    対応FOUP数:4 FOUP


  • SEMISTAR-MU124DLZ CR

    SEMISTAR-MU124DLZ CR

    5軸水平多関節 単腕型

    仕様:昇降軸ロングストローク

    対応FOUP数:4 FOUP

  • SEMISTAR-MU122D

    SEMISTAR-MU122D

    5軸水平多関節 単腕型

    対応FOUP数:2 FOUP


  • SEMISTAR-MU201D

    SEMISTAR-MU201D

    4軸水平多関節 双腕型

    対応FOUP数:1 FOUP(走行軸なし)

真空環境用

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