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高密度ガントリステージ

半導体検査装置、液晶検査装置などに最適!
XY方向の高精密位置決めを実現しました。
高精度同期運転、高精度ステージ、高精度ビジョンという3つの高精度にご注目ください。
【特長】
●摩擦の少ないエアー軸受けと、コギングの少ないコアレスリニアモータで精度の高いステージを構成
●高解像度カメラに対応したマシンビジョンシステムYV260は、高速CPUとマルチCPU構成により画像処理の高速化を実現
●MP2000シリーズコントローラとΣ-Vサーボドライブの組み合わせで高精度同期運転が可能 セミコン・ジャパン2008にて展示したデモ機です。

分類

業界

液晶製造、半導体製造

アプリケーション

組立、検査･検出

テーマ

高精度化

製品

サーボ、コントローラ

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