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半導体検査装置、液晶検査装置などに最適!
XY方向の高精密位置決めを実現しました。
高精度同期運転、高精度ステージ、高精度ビジョンという3つの高精度にご注目ください。
【特長】
●摩擦の少ないエアー軸受けと、コギングの少ないコアレスリニアモータで精度の高いステージを構成
●高解像度カメラに対応したマシンビジョンシステムYV260は、高速CPUとマルチCPU構成により画像処理の高速化を実現
●MP2000シリーズコントローラとΣ-Vサーボドライブの組み合わせで高精度同期運転が可能 セミコン・ジャパン2008にて展示したデモ機です。
業界 | 液晶製造、半導体製造 |
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アプリケーション | 組立、検査・検出 |
テーマ | 高精度化 |
製品 | サーボ、コントローラ |
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