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No. FAQ-30997
FAQカテゴリ ロボット > 半導体ウエハ搬送 > NXC100 > 異常・アラーム・保護
ロボット > 半導体ウエハ搬送 > SR100 > 異常・アラーム・保護

ご質問

半導体ロボットコントローラ：NXC100、SR100
しばらく電源を切っていたロボットを稼働させた所、アームがぶつかったりサーボ追従エラーが発生します。対処方法を教えてください。

回答

プログラミングペンダントを制御盤に接続し、アラーム経歴を確認してください。アラーム181～絶対値エンコーダバックアップエラーが全軸発生している場合は、マニピュレータに搭載されているバッテリーが消耗している可能性があります。
バッテリー交換後、専用冶具を用いて基準位置の登録と再ティーチングが必要です。

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