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装置の低周波振動を抑制し、タクトタイム短縮を実現

低周波振動を抑制する機能を備えたACサーボドライブΣ-Xシリーズにより、装置の振動を早期収束させることで、タクトタイム短縮を実現します。
※利用条件は、サーボソフトVer.000F(2024.05~)以降となります。

課題装置のタクトタイムを短縮したいが、低周波振動で位置決め整定時間が伸びてしまう

装置のタクトタイムを短縮するため、動作速度を上げたり、加減速時間を短くしたりしているが、装置を加振して低周波の振動が発生しやすくなる。一方、サーボ調整で応答性を上げ、指令に速く追従させようとすると、共振周波数で振動してしまう。

本来、低周波振動の抑制は難しく、さらに装置の大型化や軽量化によって振動しやすい装置も増えている。既存の振動抑制機能では、低周波(1~100Hz)の振動が抑えきれず、位置決め整定時間が伸びてしまうという課題がある。

 

01_装置が低周波(1~100Hz)で振動し、位置決め整定時間が伸びてしまう

 

ソリューションΣ-Xの機能により低周波振動を早期収束し、タクトタイム短縮を実現

低周波の振動を抑制するための機能を搭載したACサーボドライブΣ-Xシリーズは、負荷側速度を推定してトルク指令を補償することで、低周波振動の収束を早めます。

 

この振動抑制機能には2種類のタイプがあり、装置の摩擦が小さい機構に有効な「収束高速タイプ」と、機台振動などで揺れる装置に有効な「振幅低減タイプ」から選択が可能です。また、既存の振動抑制機能(ノッチフィルタ、A型制振機能、モデル追従制御、摩擦補償機能)と組み合わせて使用することもできます。

 

02_負荷側速度を推定してトルク指令を補償し、低周波振動を収束

 

分類

業界

液晶製造、金属加工、半導体製造、電気・電子

アプリケーション

金属加工、組立、検査・検出、レーザー加工

テーマ

高精度化、生産性向上、高速化

製品

サーボ

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