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アライメントソリューション

X-Y-θ ステージとビジョンシステムによる、高速で高精度な位置決めを実現します。
カメラによる認識データはステージの移動量と一致させているためリトライ無しに高精度に位置決めを行います。他の種類のステージ機構に対応したビジョンアプリケーションソフトも準備しています。
(SEMICON Japan 2010出展時の映像)

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分類

業界

液晶製造、半導体製造

アプリケーション

組立、検査･検出

テーマ

高精度化

製品

サーボ、コントローラ

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