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液冷リニアステージ

温度上昇がほとんど無い液冷リニアモータを使用し、サブミクロンの絶対精度を実現するリニアステージです。
コアレス形液冷リニアモータとリニアスケール、エアベアリングを組み合わせ、マシンコントローラMP2000シリーズ、ACサーボドライブΣ-Vで駆動することでサブミクロンの絶対位置決め動作を行います。
(SEMICON Japan 2010出展時の映像)

分類

業界

液晶製造、半導体製造

アプリケーション

組立、検査・検出

テーマ

高精度化

製品

サーボ

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