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当社の各製品を使った用途・事例をご紹介します。「業界」「アプリケーション」「テーマ」「製品」から記事を絞り込むことができます。
JIWS 2022
会期:2022年7月13日(水)~16日(土)
会場:東京ビッグサイト
iREX 2022
会期:2022年3月9日(水)~12日(土)
会場:東京ビッグサイト・オンライン開催
IIFES 2022
会期:2022年1月26日(水)~28日(金)
よくあるご質問(FAQ)
スクール
国内サービス拠点
海外サービス拠点
アフターサービス保証規定
輸出該非判定
温度上昇がほとんど無い液冷リニアモータを使用し、サブミクロンの絶対精度を実現するリニアステージです。 コアレス形液冷リニアモータとリニアスケール、エアベアリングを組み合わせ、マシンコントローラMP2000シリーズ、ACサーボドライブΣ-Vで駆動することでサブミクロンの絶対位置決め動作を行います。 (SEMICON Japan 2010出展時の映像)
液晶製造、半導体製造
組立、検査・検出
高精度化
サーボ
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