名称 | ![]() |
![]() |
![]() |
---|---|---|---|
PPS1130 | PVS1230A | PVS1130 | |
適用ウエハサイズ | 300 mm(SEMI規格準拠品) | 200mm / 300mm(SEMI規格準拠品)*3 | 300 mm(SEMI規格準拠品) |
ウエハ把持方式 | パッシブグリップ(PG) [エッジグリップ(EG)も対応可能] |
真空吸着グリップ(VG) [パッシブグリップ(PG)も対応可能] |
真空吸着グリップ(VG) [パッシブグリップ(PG)も対応可能] |
検出対象 | ノッチ | ノッチまたは オリエンテーションフラット*3 |
ノッチ |
ウエハ材質*1 | シリコン | ||
アライメント精度*2 | PG:±0.1°、EG:±0.03° | VG:±0.03°、PG:±0.1° | |
アライメント時間*2 | PG:5.0秒以下、EG:1.7秒以下 | VG:1.7秒以下、PG:5.5秒以下 | |
本体質量 | 8.5 kg | 7.0 kg | 5.2 kg |
Copyright(C)2001‐2025 YASKAWA ELECTRIC CORPORATION All Rights Reserved.