半導体ウエハ搬送用周辺装置SR200対応プリアライナ - 産業用ロボット

名称
PPS1130	PVS1230A	PVS1130
適用ウエハサイズ	300 mm（SEMI規格準拠品）	200mm / 300mm（SEMI規格準拠品）^*3	300 mm（SEMI規格準拠品）
ウエハ把持方式	パッシブグリップ（PG）［エッジグリップ（EG）も対応可能］	真空吸着グリップ（VG）［パッシブグリップ（PG）も対応可能］	真空吸着グリップ（VG）［パッシブグリップ（PG）も対応可能］
検出対象	ノッチ	ノッチまたはオリエンテーションフラット^*3	ノッチ
ウエハ材質^*1	シリコン
アライメント精度^*2	PG：±0.1°、EG：±0.03°	VG：±0.03°、PG：±0.1°
アライメント時間^*2	PG：5.0秒以下、EG：1.7秒以下	VG：1.7秒以下、PG：5.5秒以下
本体質量	8.5 kg	7.0 kg	5.2 kg

PPS1130

PVS1230A

PVS1130

適用ウエハサイズ

300 mm（SEMI規格準拠品）

200mm / 300mm（SEMI規格準拠品）^*3

300 mm（SEMI規格準拠品）

ウエハ把持方式

パッシブグリップ（PG）
［エッジグリップ（EG）も対応可能］

真空吸着グリップ（VG）
［パッシブグリップ（PG）も対応可能］

検出対象

ノッチ

ノッチまたは
オリエンテーションフラット^*3

ノッチ

ウエハ材質^*1

シリコン

アライメント精度^*2

PG：±0.1°、EG：±0.03°

VG：±0.03°、PG：±0.1°

アライメント時間^*2

PG：5.0秒以下、EG：1.7秒以下

VG：1.7秒以下、PG：5.5秒以下

本体質量

8.5 kg

7.0 kg

5.2 kg

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