適用コントローラ : DX100 (真空ロボット用)
項目 | 仕様 | 備考 | |
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名称 | SEMISTAR-VD35S-G4A | ||
形式 | XU-RVD1230S6-A10 (センサケーブルあり) |
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構造 | 水平多関節(3自由度) | ||
アーム方式 | 単腕 | ||
可搬質量 | 35 kg | ハンド質量含む | |
最大リーチ | 2050 mm | ||
繰り返し位置決め精度∗1 | 各軸±0.3 mm | ハンド取付け中心での値 | |
動作範囲 | L軸(伸縮) | 2050 mm | |
S軸(旋回) | -165° ~ +165° | ||
U軸(昇降) | 150 mm | ||
動作時間∗2 (最高速度での動作時) |
L軸(伸縮) | 3.0 s以下 | 2050 mmストローク |
S軸(旋回) | 3.6 s以下 | 330°ストローク(ただし、L=0) | |
U軸(昇降) | 3.2 s以下 | 150 mmストローク | |
アーム横揺れ精度 | ±5 mm以下 | 水平方向、ハンド取付け部中心での値 | |
許容慣性モーメント(GD2/4) | 14 kg·m2 | アームのハンド取付部中心での値 | |
耐真空度 | 1×10-6 Pa | ||
本体概略質量 | 520 kg |
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