適用コントローラ : DX100 (真空ロボット用)
項目 | 仕様 | 備考 | |
---|---|---|---|
名称 | SEMISTAR-VD10S | ||
形式 | XU-RVD960S5-A12 | ||
構造 | 水平多関節(3自由度) | ||
アーム方式 | 単腕 | ||
可搬質量 | 10 kg | ハンド質量含む | |
繰り返し位置決め精度∗1 | 各軸±0.2 mm | ハンド取付け部中心での値 | |
動作範囲 | L軸(伸縮) | 1485 mm | |
S軸(旋回) | -170° ~ +170° | ||
U軸(昇降) | 65 mm | ||
動作時間∗2 (最高速度での動作時) |
L軸(伸縮) | 2.5 s以下 | 1458 mmストローク |
S軸(旋回) | 4.9 s以下 | 340°ストローク(ただし、L=0) | |
U軸(昇降) | 4.9 s以下 | 65 mmストローク | |
アーム横揺れ精度 | ±3 mm以下 | 水平方向、ハンド取付け部中心での値 | |
許容慣性モーメント(GD2/4) | 2.5 kg·m2 | ハンド質量含む、ハンド取付け部中心での値 | |
耐真空度 | 1×10-5 Pa | ||
本体概略質量 | 160 kg |
Copyright(C)2001‐2022 YASKAWA ELECTRIC CORPORATION All Rights Reserved.