半導体ウエハ、有機EL·液晶·太陽電池用ガラス搬送

4軸水平多関節 : SEMISTAR-M201

SEMISTAR-M201
  • ダブルアームで、プロセス前後のアームの使い分けや高スループット化を実現
  • 電源投入時の原点復帰が不要で高い信頼性を確保
  • 走行軸 TLシリーズに搭載することで、3FOUP、4FOUPにも対応可能
  • ISOクラス 1
4軸 双腕クリーンロボット
適用ウエハサイズ
200 mm
300 mm
対応FOUP数
4FOUP∗

∗走行軸搭載時

適用コントローラ : NXC100 (ウエハ搬送ロボット用)

お問い合わせ カタログ

特長

TL

クリーンロボット用走行軸TLシリーズは、摺動面がリニアガイドのみのACリニアモータによるダイレクト駆動のリニア走行軸です。クリーンロボットを搭載できる高い可搬質量 (45 kg)と広い動作範囲、低騒音、低速から高速動作でも高い位置決め精度を実現しました。

標準仕様として、動作範囲が1010 mm (TL1010)と1515 mm (TL1515)の2タイプを準備しています。3FOUP*、4FOUPにおけるウエハの移載やプロセス装置への搬送·入替え作業に、ロボットを搭載して高速·広範囲に搬送できます。

クリーン度はISOクラス1に対応しています。

*
FOUP (Front Opening Unified Pod)

高速搬送と高精度位置決めの実現で高スループット化が可能

ACリニアモータによるダイレクト駆動です。当社製ロボット (SEMISTAR-M101/M201等)を搭載して最大速度1500 mm/秒 (4FOUP対応のTL1515の場合)の高速搬送が可能です。また、低速から高速動作でも0.1 mm (P-P)の高い位置決め精度を実現しています。
3FOUP対応用のTL1010、より動作範囲の大きな4FOUP対応用のTL1515を標準仕様として準備しています。搭載ロボットの能力と一体となって、ウエハの高速搬送に対応でき、システムの高スループット化が図れます。

高クリーンで低騒音、高信頼性を実現

ACリニアモータによるダイレクト駆動なので、動作時の摺動部はリニアガイドのみです。ボールネジやベルトなどが無く、高いクリーン性能と静かな動作音、滑らかな高速動作、高い信頼性を実現しています。保守の軽減が図れます。

仕様

名称 TL1010 (3FOUP対応走行軸) TL1515 (4FOUP対応走行軸)
形式 XU-ACT101L-C10 XU-ACT152L-C10
動作範囲 1010 mm 1515 mm
最大速度 850 mm/s 1500 mm/s
位置決め精度 0.1 mm(P-P)
可搬質量 45 kg
概略質量 141 kg 176 kg
外部軸用ドライバBOX使用時のときです。