有機EL・液晶・太陽電池用ガラス搬送用クリーンロボット SEMISTARシリーズ

3軸水平多関節単腕形

可搬質量：10 kg

対応ガラス基板サイズ：
最大400×500 mm

4軸水平多関節双腕形

可搬質量：10 kg/アーム

対応ガラス基板サイズ：
最大400×500 mm

3軸水平多関節単腕形

可搬質量：20 kg

対応ガラス基板サイズ：
最大460×730 mm

4軸水平多関節双腕形

可搬質量：20 kg/アーム

対応ガラス基板サイズ：
最大460×730 mm

3軸水平多関節単腕形

可搬質量：35 kg

対応ガラス基板サイズ：
最大730×920 mm

4軸水平多関節双腕形

可搬質量：35 kg/アーム

対応ガラス基板サイズ：
最大730×920 mm

3軸水平多関節単腕形

可搬質量：40 kg

対応ガラス基板サイズ：
最大1250×2250 mm

4軸水平多関節双腕形

可搬質量：40 kg/アーム

対応ガラス基板サイズ：
最大1250×2250 mm

4軸水平多関節双腕形

可搬質量：95 kg/アーム

対応ガラス基板サイズ：
最大730×920 mm

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