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ご質問

No.
FAQ-20013

X軸とZ軸のフルクローズシステムでのステージを調整するにはどうすれば良いか。

回答

Pn170.3(調整レス負荷レベル)、Pn170.2(調整レスチューニングレベル)を調整しても振動が収まらない場合には、調整レスを無効にしアドバンストオートチューニング機能のを実行してください。

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