半導体ウエハ、有機EL·液晶·太陽電池用ガラス搬送

5軸水平多関節:SEMISTAR-GEKKO MD124D

SEMISTAR-MR124
  • 当社の AC サーボモータ「Σ-7 シリーズ」のダイレクトドライブ(DD)モータを搭載した駆動方式を採用
  • 従来機種より高精度(位置決め精度 従来比 2倍)、低振動(従来機種比 1/6)な半導体ウエハ搬送を実現
2ブレード先端回転軸付き 5軸 単腕クリーンロボット
適用ウエハサイズ
300 mm
対応FOUP数
4FOUP

適用コントローラ : SR200

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  • 仕様
名称 SEMISTAR-GEKKO MD124D
適用ウエハサイズ 300 mm(SEMI 規格準拠品)
ウエハ把持方式 パッシブグリップ
(真空吸着グリップ、エッジグリップも対応可能)
標準エンドエフェクタ長 345 mm
駆動軸数 5 軸
アームタイプ 単腕
動作範囲 EX 軸(伸縮) 1215 mm∗3
TH 軸(旋回) 330°
Z 軸(昇降) 480 mm
H 軸(回転) 440°
最小回転半径 510 mm
繰返し位置決め精度∗1 0.05 mm (P-P)
本体質量 86 kg
クリーン度∗2 ISO クラス 1
MCBF(SEMI F10 準拠) 1500 万サイクル以上
設置環境 使用温度・湿度 +20°C ~ +30°C,35% ~ 55%RH (結露のないこと)
保管温度・湿度 0°C ~ +40°C,20% ~ 80%RH (結露のないこと)
標高 1000 m 以下
雰囲気 爆発性、可燃性、腐食性ガスがないこと
∗1
JIS B 8432 ポーズ繰返し精度に準拠しています。
∗2
0.3 m/s のダウンフロー環境下、当社推奨の設置条件によります。
∗3
マニピュレータ旋回中心位置 ~ ウエハ中心位置 (当社標準 300 mm 対応エンドエフェクタ使用時)