半導体ウエハ搬送

5軸水平多関節：SEMISTAR-GEKKO MD124D

適用コントローラ : SR200

名称
名称		SEMISTAR-GEKKO MD124D	SEMISTAR-GEKKO MD124D CR
仕様		標準	耐食
適用ウエハサイズ		300 mm（SEMI規格準拠品）
ウエハ把持方式		パッシブグリップ（真空吸着グリップ、エッジグリップも対応可能）
標準エンドエフェクタ長		345 mm
自由度		5自由度
動作範囲	EX軸（伸縮）	1215 mm^∗3
	TH軸（旋回）	330°
	Z軸（昇降）	480 mm	468 mm
	H軸（回転）	440°
最小回転半径		510 mm
位置繰返し精度^∗1		0.05 mm（P-P）
本体質量		86 kg	93 kg
クリーン度^∗2		ISOクラス1

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