搬送・移載を高精度・低振動で実現!

半導体ウエハ、有機EL・液晶・太陽電池用ガラス搬送

半導体ウエハ ハンドリングロボット SEMISTAR-Mシリーズ、真空内ハンドリングロボット SEMISTAR-Vシリーズ、それぞれ各ウエハサイズ、ガラス基板サイズに対応するロボットをフルラインアップ。高速・高精度な搬送・移載を提供します。

ラインアップ

半導体ウエハ ハンドリングロボット SEMISTAR-Mシリーズ

製品ラインアップ 動作軸数 / アーム方式 対応ウエハサイズ 対応FOUP数

SEMISTAR-M101

SEMISTAR-M101 3軸/単腕 200 mm
300 mm
4FOUP

SEMISTAR-M201

SEMISTAR-M201 4軸/双腕 200 mm
300 mm
4FOUP

SEMISTAR-M112

SEMISTAR-M112 4軸/単腕 200 mm
300 mm
2FOUP

SEMISTAR-M122

SEMISTAR-M122 5軸/単腕 200 mm
300 mm
2FOUP

SEMISTAR-M124

SEMISTAR-M124 5軸/単腕 200 mm
300 mm
450 mm
4FOUP

SEMISTAR-MR124

SEMISTAR-MR124 5軸/単腕 300 mm
450 mm
4FOUP

∗ 走行軸搭載時

真空内ハンドリングロボット SEMISTAR-Vシリーズ

製品ラインアップ 動作軸数 / アーム方式 可搬質量 対応ガラス
基盤サイズ

SEMISTAR-VD10S

SEMISTAR-VD10S 3軸/単腕 10 kg 最大400×500 mm

SEMISTAR-VD10D

SEMISTAR-VD10D 4軸/双腕 10 kg/アーム 最大400×500 mm

SEMISTAR-VD20S

SEMISTAR-VD20S 3軸/単腕 20 kg 最大460×730 mm

SEMISTAR-VD20D

SEMISTAR-VD20D 4軸/双腕 20 kg/アーム 最大460×730 mm

SEMISTAR-VD35S-G4A

SEMISTAR-VD35S-G4A 3軸/単腕 35 kg 最大730×920 mm

SEMISTAR-VD35D-G4A

SEMISTAR-VD35D-G4A 4軸/双腕 35 kg/アーム 最大730×920 mm

SEMISTAR-VD40S

SEMISTAR-VD40S 3軸/単腕 40 kg 最大1250×2250 mm

SEMISTAR-VD40D-G6A

SEMISTAR-VD40D-G6A 4軸/双腕 40 kg/アーム 最大1250×2250 mm

SEMISTAR-VD95D

SEMISTAR-VD95D 4軸/双腕 95 kg/アーム 最大730×920 mm