半導体ウエハ、有機EL·液晶·太陽電池用ガラス搬送

5軸水平多関節 : SEMISTAR-MR124

SEMISTAR-MR124
  • SEMISTAR-Mシリーズを包括し、さらに進化
  • 搬送処理能力50%UP 搬送精度50%UP 動作領域30%拡大
  • ISOクラス 1
2ブレード先端回転軸付き 5軸 単腕クリーンロボット
適用ウエハサイズ
300 mm、450 mm
対応FOUP数
4FOUP

適用コントローラ : SR100

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  • 仕様
名称 SEMISTAR-MR124
形式 XU-RC870M-A01
適用ウエハサイズ 300 mm(450 mm)∗1
対応エンドエフェクタ 真空吸着/エッジグリップ
標準エンドエフェクタの長さ∗2 345 mm @ 300 mm ウエハ対応
構造 水平多関節 (5自由度)
アーム方式 単腕
可搬質量∗3 1 kg
動作範囲 R軸(伸縮)∗4 1215 mm
θ軸(旋回) 330°
Z軸(昇降) 480 mm
B軸(先端回転) 440°
最小旋回直径∗5 φ515 mm
最大速度 R軸(伸縮) 260°/s
θ軸(旋回) 330°/s
Z軸(昇降) 550 mm/s
B軸(先端回転) 350 °/s
リニア 2000 mm/s
位置決め精度 R軸(伸縮) 0.1 mm(P-P)
θ軸(旋回)∗6 0.1 mm(P-P)
Z軸(昇降) 0.1 mm(P-P)
B軸(先端回転) 0.1 mm(P-P)
クリーン度∗7 ISOクラス1
本体概略質量 73 kg
∗1
当社標準エンドエフェクタ(300 mm:エッジクリップ/真空吸着、450 mm:真空吸着)
∗2
エンドエフェクタ第3アームへの取付け中心からウエハ中心位置までの長さです。
∗3
エンドエフェクタ質量を含みます。
∗4
標準エンドエフェクタ取付け時のロボットθ軸(旋回)中心からウエハ中心までの距離です。
∗5
標準エンドエフェクタ取付け時の値です。
∗6
標準エンドエフェクタ取付け時のアーム伸端時におけるウエハ中心位置です。
∗7
真空吸着のエンドエフェクタの場合です。エッジグリップタイプはISOクラス2となります。
(注)
本表はSI単位系で記載しています。