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サーボ

Σ-Tracシリーズ Σ-Trac-µ[ SGTMM ]

Σ-Tracシリーズ Σ-Trac-µ

液晶・半導体製造装置、電子部品実装機のように、機械の高速及び高精度位置決めを必要とする用途に最適です。



特長

特長1設計・取付けを容易にする、システム一体形!


リニアスライダは、リニアサーボモータ、リニアスケール、及びリニアガイドが一体形となった機械構成です。リニアモータ単体でお客様に提供する場合に比べ、そのままお客様の機械に装着できるため、お客様の機械設計、調達、組み立てなどのリードタイムを大幅に削減することができます。


特長2世界トップレベルの技術と充実のラインアップ!


当社が誇る世界トップレベルのリニアサーボドライブ技術をもとに、超薄形のコンパクトタイプからロングストロークタイプまで、充実したラインアップで機械のベストパフォーマンスを創出します。


特長3リニア革新をもたらす、超高精度を実現!


リニアスケール信号によって位置データがダイレクトにフィードバックされるため、高速かつ高精度な位置決めを実現します。シンプルなユニット構造ゆえのクリーン性とメンテナンスフリー。従来のボールねじシステムにない、あらゆるメリットをお客様にもたらします。


特長4リニアスライダ Σ-Tracシリーズの構造と特長


コアレスモータをフラットな構造にしたことで業界最小レベルのサイズを実現。 超薄形&高精度(0.5m以下)なので、半導体実装機、バイオ・メディカル用装置のような狭いスペースへの取り付け用途に最適です。
(ショートストローク向き:10mm~65mm)
構造
特長
  • 機器の最小・シンプル設計に貢献
    モータの動力線・信号線が接続されているコイル側を固定し、超薄形・小形を実現。ストローク 10~65mmの機種を準備しています。X-Yテーブルに組み込んだ場合、ボールねじシステム(当社製30W回転形モータ使用)と比較して、体積比約1/3になります。

    X-Yテーブルのシステム構成

  • 高精度な位置決め精度を実現
    Σ-Trac-µ は、伝達機構部のガタがないため、0.5µm以下の位置決めが可能であり、光学系、検査装置、医療機器分野に最適です。
  • 熱対策が容易
    発熱源である電機子コイルが固定側になるため、テーブルまたはワークへの電熱量を低減できます。更に冷却を要する場合でも、冷却ユニット(配管等)を固定側に配置できるため、容易に強制空冷または液冷構造にできます。




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