半導体ウエハ、有機EL·液晶·太陽電池用ガラス搬送

4軸水平多関節 : SEMISTAR-VD40D-G6A

SEMISTAR-VD40D-G6A
  • 最大で第8世代ハーフ(1250×2250 mm級)のガラス基板に対応
  • アーム部にリンク機構を採用することにより高剛性を実現
  • 真空内ベルト駆動を採用していないため低放出ガス性能を実現
  • アーム内に基板有無センサ用配線を内蔵可能
双腕 真空対応ロボット
可搬質量
40 kg/アーム
耐真空度
1×10-6 Pa

適用コントローラ : DX100 (真空ロボット用)

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  • 仕様
項目 仕様 備考
名称 SEMISTAR-VD40D-G6A
形式 XU-RVD2200D6-A10
(センサケーブルあり)
構造 水平多関節(4自由度)
アーム方式 双腕
可搬質量 40 kg/アーム ハンド質量含む
繰り返し位置決め精度∗1 L、R、S軸 : ±0.3 mm
U軸 : ±0.4 mm
ハンド取付け部中心での値
動作範囲 L軸(伸縮) 3800 mm
R軸(伸縮)
S軸(旋回) -170° ~ +170°
U軸(昇降) 200 mm
動作時間∗2
(最高速度での動作時)
L軸(伸縮) 3.4 s以下 3800 mmストローク
R軸(伸縮)
S軸(旋回) 4.5 s以下 340°ストローク(ただし、L、R=0)
U軸(昇降) 3.0 s以下 200 mmストローク
アーム横揺れ精度 ±5 mm以下 水平方向、ハンド取付け部での値
(伸び端から2000 mmの範囲)
許容慣性モーメント(GD2/4) 65 kg·m2 ハンド質量含む、ハンド取付け部中心での値
耐真空度 1×10-6 Pa
本体概略質量 1900 kg
∗1
JIS B8432ポーズ繰返し精度に準じています。ワーク有無等の負荷変動や使用速度の差異、温度変化による影響は含みません。
∗2
動作時間は基板搭載時の搬送時間を保証するものではありません。また、ハンド形状やハンド取付け部剛性などによって共振現象が発生する場合は、運転速度を変更してご使用していただく場合があります。