半導体ウエハ、有機EL·液晶·太陽電池用ガラス搬送

3軸水平多関節 : SEMISTAR-VD35S-G4A

SEMISTAR-VD35S-G4A
  • 最大で第4世代(730×920 mm級)のガラス基板に対応
  • アーム部にリンク機構を採用することにより高剛性を実現
  • 真空内ベルト駆動を採用していないため低放出ガス性能を実現
  • アーム内に基板有無センサ用配線を内蔵可能
単腕 真空対応ロボット
可搬質量
35 kg
耐真空度
1×10-6 Pa

適用コントローラ : DX100 (真空ロボット用)

お問い合わせ カタログ
  • 仕様
項目 仕様 備考
名称 SEMISTAR-VD35S-G4A
形式 XU-RVD1230S6-A10
(センサケーブルあり)
構造 水平多関節(3自由度)  
アーム方式 単腕
可搬質量 35 kg ハンド質量含む
最大リーチ 2050 mm
繰り返し位置決め精度∗1 各軸±0.3 mm ハンド取付け中心での値
動作範囲 L軸(伸縮) 2050 mm  
S軸(旋回) -165° ~ +165°
U軸(昇降) 150 mm
動作時間∗2
(最高速度での動作時)
L軸(伸縮) 3.0 s以下 2050 mmストローク
S軸(旋回) 3.6 s以下 330°ストローク(ただし、L=0)
U軸(昇降) 3.2 s以下 150 mmストローク
アーム横揺れ精度 ±5 mm以下 水平方向、ハンド取付け部中心での値
許容慣性モーメント(GD2/4) 14 kg·m2 アームのハンド取付部中心での値
耐真空度 1×10-6 Pa
本体概略質量 520 kg
∗1
JIS B8432ポーズ繰返し精度に準じています。ワーク有無等の負荷変動や使用速度の差異、温度変化による影響は含みません。
∗2
動作時間は基板搭載時の搬送時間を保証するものではありません。また、ハンド形状やハンド取付け部剛性などによって共振現象が発生する場合は、運転速度を変更してご使用していただく場合があります。