有機EL・液晶・太陽電池用ガラス搬送 真空対応ロボットSEMISTAR-Vシリーズ

  • SEMISTAR-V10S

    SEMISTAR-VD10S

    3軸水平多関節 単腕形

    可搬質量:10 kg

    対応ガラス基板サイズ:
    最大400×500 mm

  • SEMISTAR-V10D

    SEMISTAR-VD10D

    4軸水平多関節 双腕形

    可搬質量:10 kg/アーム

    対応ガラス基板サイズ:
    最大400×500 mm


  • SEMISTAR-V20S

    SEMISTAR-VD20S

    3軸水平多関節 単腕形

    可搬質量:20 kg

    対応ガラス基板サイズ:
    最大460×730 mm

  • SEMISTAR-V20D

    SEMISTAR-VD20D

    4軸水平多関節 双腕形

    可搬質量:20 kg/アーム

    対応ガラス基板サイズ:
    最大460×730 mm


  • SEMISTAR-V35S-G4A

    SEMISTAR-VD35S-G4A

    3軸水平多関節 単腕形

    可搬質量:35 kg

    対応ガラス基板サイズ:
    最大730×920 mm

  • SEMISTAR-V35D-G4A

    SEMISTAR-VD35D-G4A

    4軸水平多関節 双腕形

    可搬質量:35 kg/アーム

    対応ガラス基板サイズ:
    最大730×920 mm


  • SEMISTAR-VD40S

    SEMISTAR-VD40S

    3軸水平多関節 単腕形

    可搬質量:40 kg

    対応ガラス基板サイズ:
    最大1250×2250 mm

  • SEMISTAR-V40D-G6A

    SEMISTAR-VD40D-G6A

    4軸水平多関節 双腕形

    可搬質量:40 kg/アーム

    対応ガラス基板サイズ:
    最大1250×2250 mm


  • SEMISTAR-V95D

    SEMISTAR-VD95D

    4軸水平多関節 双腕形

    可搬質量:95 kg/アーム

    対応ガラス基板サイズ:
    最大730×920 mm