サーボ
Σ-Vシリーズ（リニアスライダ）[ SGT, SGTMM, SGTMF/SGDV ]
サーボモータとサーボパックの組み合わせ
| サーボモータ | サーボ パック SGDV 形 |
用途 | ||||
| シリーズ | 概要 | 形式 | 100V | 200V | ||
| 単相 | 三相 | |||||
| Σ-Trac | SGT
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ロングストロークかつ，高速・高精度（繰り返し位置決め精度±1.0µm以下）を実現 一つのマグネットトラック上に複数のテーブルを配置して，独立駆動が可能 汎用形（標準タイプ）と高精度形を準備 |
SGT□GD□ | R90F | R90A | - |
| SGT□GE□ | 2R1F | 1R6A | ||||
| SGT□GG□ | ||||||
| SGT□GF□ | 2R8F | 2R8A | ||||
| SGT□GH□ | ||||||
| SGT□GI□ | - | 5R5A | ||||
| SGT□F3□ | 2R1F | 1R6A | ||||
| SGT□F4□ | - | 3R8A | ||||
| SGT□F9□ | 5R5A | |||||
| SGT□FA□ | 120A | |||||
| Σ-Trac-µ | SGTMM
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超薄形で，狭いスペースの取り付けに最適 ショートストローク向き(10 ～ 65mm) 伝達機構部のガタがなく，高精度(繰り返し位置決め精度±0.5µm以下)位置決めが可能 発熱源である電機子コイルが固定側にあり，テーブルやワークへの電熱量を低減 |
SGTMM-01 | R70F | R70A |
半導体実装機 バイオ・メディカル用装置 光学系検査装置 |
| SGTMM-03 | R90F | R90A | ||||
| Σ-Trac-MAG | SGTMF
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可動部の軽量化により，高加減速・高タクト駆動に最適 ショートストローク向き（65～185mm） 冷却ユニット（配管など）を固定側に配置できるため，強制空冷や液冷構造が容易に実現可能 インクレスケールとアブソスケールに対応 ストローク効率*が向上 *: 駆動システム全長に対する有効ストロークの割合のこと |
SGTMF-4A | 2R1F | 1R6A | - |
| SGTMF-4B | ||||||
| SGTMF-5A | - | 5R5A | ||||
| SGTMF-5B | ||||||
