サーボ
Σ-Vシリーズ（リニア）[ SGLG□, SGLF□, SGLT□, SGLC□/SGDV ]
サーボモータとサーボパックの組み合わせ
| サーボモータ | サーボパック SGDV 形 |
用途 | |||||
| シリーズ | 概要 | 形式 | 100V | 200V | 400V | ||
| 単相 | 三相 | ||||||
| コアレス形 （標準固定子 使用時） |
SGLGW
|
機械の送り機構をダイレクト化し，機械の高速・高精度位置決めを実現 吸引力レスで，低騒音化及びガイドの長寿命化を実現 コギングレスで，低推力リプル化に有利 |
30A050C | R70F | R70A | - |
機械内搬送装置 半導体製造装置 液晶製造装置 |
| 30A080C | R90F | R90A | |||||
| 40A140C | |||||||
| 40A253C | 2R1F | 1R6A | |||||
| 60A140C | |||||||
| 40A365C | 2R8F | 2R8A | |||||
| 60A253C | |||||||
| 60A365C | - | 5R5A | |||||
| 90A200C | 120A | ||||||
| 90A370C | 180A | ||||||
| 90A535C | 200A | ||||||
| コアレス形 （高推力 固定子 使用時） |
40A140C | 2R1F | 1R6A | - | |||
| 60A140C | |||||||
| 40A253C | 2R8F | 2R8A | |||||
| 40A365C | - | 3R8A | |||||
| 60A253C | |||||||
| 60A365C | 7R6A | ||||||
| コア付きF形 | SGLFW
|
機械の送り機構をダイレクト化し，機械の高速・高精度位置決めを実現 可動側と固定側との間に大きな磁気吸引が発生し，軸受部への予圧として活用可能 吸引力に伴うガイド摩擦力により，減速推力を小さくできる |
20A090A | 2R1F | 1R6A | - |
機械内搬送装置 半導体製造装置 液晶製造装置 |
| 20A120A | |||||||
| 35A120A | |||||||
| 35A230A | - | 3R8A | |||||
| 50A200B | 5R5A | ||||||
| 50A380B | 120A | ||||||
| 1ZA200B | |||||||
| 1ZA380B | 200A | ||||||
| 35D120A | - | 1R9D | |||||
| 35D230A | |||||||
| 50D200B | 3R5D | ||||||
| 50D380B | 5R4D | ||||||
| 1ZD200B | |||||||
| 1ZD380B | 120D | ||||||
| コア付きT形 | SGLTW
|
機械の送り機構をダイレクト化し，機械の高速・高精度位置決めを実現 当社独自の磁気吸引力相殺構造により，軸受部の加圧力が極端に小さい 吸引力が相殺されるため，ガイドの長寿命化と低騒音化を実現 コギング推力が極めて小さい |
20A170A | - | 3R8A | - |
機械内搬送装置 実装機 工作機械 |
| 35A170A | 5R5A | ||||||
| 35A170H | |||||||
| 50A170H | |||||||
| 20A320A | 7R6A | ||||||
| 20A460A | 120A | ||||||
| 35A320A | |||||||
| 35A320H | |||||||
| 50A320H | |||||||
| 35A460A | 180A | ||||||
| 40A400B | |||||||
| 40A600B | 330A | ||||||
| 80A400B | |||||||
| 35D170H | - | 3R5D | |||||
| 50D170H | |||||||
| 35D320H | 8R4D | ||||||
| 50D320H | |||||||
| 40D400B | 120D | ||||||
| 40D600B | 170D | ||||||
| 80D400B | |||||||
| シリンダ形 | SGLCW
|
固定子両端支持であるため，ボールねじ機構からの切り替えが容易 ボールねじシステムと比較して，高速・高精度位置決めが可能であり，タクトタイム短縮に貢献 ボールねじのような機械接触部がなく，潤滑剤が不要なため，メンテナンスが容易 |
D16A085 | R70F | R70A | - |
半導体製造装置 電子部品組立て 食品包装機械 金属加工機械 その他搬送用途全般 |
| D16A115 | |||||||
| D16A145 | R90F | R90A | |||||
| D20A100 | 2R1F | 1R6A | |||||
| D20A135 | |||||||
| D20A170 | |||||||
| D25A125 | |||||||
| D25A170 | 2R8F | 2R8A | |||||
| D32A165 | |||||||
| D25A215 | - | 5R5A | |||||
| D32A225 | |||||||
| D32A285 | |||||||
