ロボット
FPDガラス基板搬送用のクリーンロボットは，垂直多関節形のMOTOMAN-CRシリーズ，水平多関節形のCSL/CSPシリーズ，水平多関節形で上下直動タイプのECHシリーズ，ダブルリンク式機構支柱のCDLシリーズで構成しています。高速･高精度搬送のほか，CDLシリーズは第10世代の超大形液晶ガラス基板搬送が可能，基板アライメントやレベル調整の付帯設備削減が可能です。また，超大形ガラス基板搬送用コンベアの搭載･旋回が可能なクリーン仕様ターンテーブルも製品化し，小形から超大形サイズの液晶ガラス基板搬送，生産性向上に対応できます。
特長
MOTOMAN-CSL2500Dは，可搬質量120kg/アーム，4軸水平多関節形のダブルアームタイプ*で，第8世代サイズの超大形液晶ガラス基板2200×2500mm級の高速搬送が可能な大形クリーンロボットです。
高可搬質量と広い動作範囲による超大形ガラス基板搬送，ダブルアームと高速動作によるスループットの向上，低パスラインと上下方向ロングストロークを実現しています。また，各種プロセス処理装置への対応として，上下軸ストロークは2シリーズを準備しています。
クリーン度は，ISOクラス4に対応します。
*：シングルアームタイプも準備しています。
特長1最大2200×2500mmサイズの超大形液晶ガラス基板の高速搬送が可能，高スループットに貢献
上下ストローク1800mmの場合，最大動作速度は上下軸800mm/秒，旋回軸150°/秒，アーム前後軸（前後への引抜速度）3600mm/秒の高速動作を実現しています。加えて，高可搬質量120kg/アームのダブルアーム方式のほか，前後軸±2240mmの広い動作範囲とによって，2500mm級サイズの第8世代クラスに対応した超大形液晶ガラス基板のカセット間高速移載や，プロセス処理装置とのロード/アンロードが高速で行えます。
液晶ディスプレイ製造工程でのスループットの向上が図れ，生産性向上に寄与できます。
液晶ディスプレイ製造工程でのスループットの向上が図れ，生産性向上に寄与できます。
特長2低パスラインでロングストロークの上下軸シリーズにより，フレキシブルなライン構成が可能
ロボットの全高（1059mm）を低く抑え，低パスラインと上下方向ロングストロークを両立しています。上下軸ストロークは1800mm，2400mmの2シリーズを準備しており，高さ方向へ拡大するライン構成や空間の有効活用，各種プロセス処理装置の大形サイズへ対応できます。液晶製造ラインのフレキシブルなラインレイアウトが可能です。
