ロボット
FPDガラス基板搬送用のクリーンロボットは，垂直多関節形のMOTOMAN-CRシリーズ，水平多関節形のCSL/CSPシリーズ，水平多関節形で上下直動タイプのECHシリーズ，ダブルリンク式機構支柱のCDLシリーズで構成しています。高速･高精度搬送のほか，CDLシリーズは第10世代の超大形液晶ガラス基板搬送が可能，基板アライメントやレベル調整の付帯設備削減が可能です。また，超大形ガラス基板搬送用コンベアの搭載･旋回が可能なクリーン仕様ターンテーブルも製品化し，小形から超大形サイズの液晶ガラス基板搬送，生産性向上に対応できます。
特長
MOTOMAN-CSL2200Dは，可搬質量50kg/アーム，4軸水平多関節形のダブルアームタイプ*で，第6世代サイズの大形液晶ガラス基板1500×1850mm級の高速搬送が可能な大形クリーンロボットです。
高可搬質量と広い動作範囲による大形ガラス基板搬送，ダブルアームと高速動作によるスループットの向上，高さ方向へ拡大するライン構成へ対応した上下方向ロングストロークを実現しています。また，各種プロセス処理装置への対応として，上下軸ストロークは3シリ-ズを準備しています。
クリーン度は，ISOクラス4に対応します。
*：シングルアームタイプも準備しています。
特長1最大1500×1850mmサイズの大形液晶ガラス基板の高速搬送が可能，高スループットに貢献
上下軸ストローク1800mmの場合，最大動作速度は上下軸1250mm/秒，旋回軸180°/秒，アーム前後軸（前後への引抜速度）3250mm/秒の高速動作を実現しています。加えて，高可搬質量50kg/アームのダブルアーム方式のほか，前後軸±1675mmの広い動作範囲とによって，1850mm級サイズの第6世代クラスに対応した大形液晶ガラス基板のカセット間高速移載や，プロセス処理装置とのロード/アンロードが高速で行えます。
液晶ディスプレイ製造工程でのスループットの向上が図れ，生産性向上に寄与できます。
液晶ディスプレイ製造工程でのスループットの向上が図れ，生産性向上に寄与できます。
特長2低パスラインでロングストロークの上下軸シリーズにより，フレキシブルなライン構成が可能
ロボットの全高（824mm）を低く抑え，低パスラインへの対応とともに，上下軸ストローク1800mm，2440mm，2650mmの3シリーズを準備しており，高さ方向へ拡大するライン構成や各種プロセス処理装置の大形サイズへ対応できます。
液晶製造ラインのフレキシブルなラインレイアウトが可能です。
液晶製造ラインのフレキシブルなラインレイアウトが可能です。
特長3たわみ＆振動の低減による高精度位置決め，高密度カセットへ対応
ガラス基板の大形･高重量化に対応した高剛性機構設計と制御技術により，ロボットアームのたわみ（大形ガラス部の傾き）と振動を低減し，ガラス基板大形化，高密度カセットへ対応した高精度の位置決めが可能です。
