ロボット
FPDガラス基板搬送用のクリーンロボットは，垂直多関節形のMOTOMAN-CRシリーズ，水平多関節形のCSL/CSPシリーズ，水平多関節形で上下直動タイプのECHシリーズ，ダブルリンク式機構支柱のCDLシリーズで構成しています。高速･高精度搬送のほか，CDLシリーズは第10世代の超大形液晶ガラス基板搬送が可能，基板アライメントやレベル調整の付帯設備削減が可能です。また，超大形ガラス基板搬送用コンベアの搭載･旋回が可能なクリーン仕様ターンテーブルも製品化し，小形から超大形サイズの液晶ガラス基板搬送，生産性向上に対応できます。
仕様
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名称 MOTOMAN-CSL1300D
-1800MOTOMAN-CSL1300D
-2440形式 YR-CSL30D-A10 YR-CSL30D-A00 構造 水平多関節（4自由度）/ダブルアームタイプ 可搬質量 30kg/アーム 繰り返し位置決め精度*1 ±0.2mm 動
作
範
囲U軸（上下軸） 1800mm 2440mm S軸（旋回軸） -215°～+125° L，R軸（前後軸） -1175mm～+1175mm 最
大
速
度U軸（上下軸） 1250mm/s 1200mm/s S軸（旋回軸） 3.14rad/s，180°/s L，R軸（前後軸） 3250mm/s 許容
モーメントL，R軸（前後軸） 100N･m 許容慣性
モーメント
(GD2/4)L，R軸（前後軸） 15kg･m2 本体質量 750kg 850kg 設
置
環
境温度 +15～+35℃ 湿度 20～80%RH（結露なきこと） 振動 4.9m/s2以下 その他 ･引火性及び腐食性ガス･液体がないこと
･水，油などがかからないこと
･電気的ノイズ源が近くにないこと
･ロボット据付面の平面度は0.5mm以下のこと電源容量*2 5.0kVA クリーン度*3 ISOクラス4 *1 JIS B8432に準拠しています。
*2 動作パターンにより異なります。
*3 クリーン度はISO規格に準拠しています。但し，風速0.4m/s以上のダウンフローのある環境下において，
ワーク搬送面よりも上の位置とします。(注) シングルアームタイプのMOTOMAN-CSL1300シリーズも準備しています。
