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精密位置決めソリューション
 
ブロードバンド ナローバンド
特長
   
半導体・FPD製造装置をはじめとする各種製造装置に広範囲に適用されるワーク位置補正ソリューションのデモを行います。
MYVISは、アライメントマークとターゲットマークの両方を認識して位置補正量を求めます。
画素サイズ20µm,30万画素の標準解像度カメラを使い、ミクロン台の高精度な位置補正を実演します。
 
   
  ムービーをご視聴いただくには,専用の再生ソフトをパソコンにインストールしていただく必要があります。各ムービーボタンを押しても再生が始まらない場合は,お使いのパソコンにソフトが搭載されていない可能性があります。
   

デモ機構成


主要構成製品
  マシンコントローラ MP2500
  マシンビジョンシステム MYVIS YV250
  ACサーボドライブ Σ-Vシリーズ
  リニアスライダ Σ-Tracシリーズ Σ-Trac-MAG
  ダイレクトドライブ Σシリーズ
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