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真空環境でのガラス基板・マスクの搬送に最適な高負荷ロボット

高真空環境でのガラス基板の高速搬送が可能です。
片腕20kg可搬の双腕ロボットによる高速搬送を実演します。
特長
     
  有機ELガラス、マスクなどの搬送に最適
    高剛性の平行リンク機構の採用で片腕20kgまでの搬送能力を実現します。
  コンパクトなデュアルアーム
    コンパクトなアームは、チャンバの小形化に貢献します。
  高真空環境に対応
    1×10-6 Pa の高真空環境に対応します。
真空環境でのガラス基板・マスクの搬送に
最適な高負荷ロボット
主要構成製品
   

ロボット　XU-RV800D6
   
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