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No. FAQ-30994
FAQカテゴリ ロボット > 半導体ウエハ搬送 > NXC100 > 異常・アラーム・保護
ロボット > 半導体ウエハ搬送 > SR100 > 異常・アラーム・保護

ご質問

半導体ロボットコントローラ：NXC100、SR100
コントローラの7セグLEDに「A4F」が点滅し、バックアップ用バッテリエラーのメッセージが表示されています。対処方法を教えてください。

回答

コントローラのバッテリー交換が必要です。バッテリー交換が完了するまではコントローラの電源を切らないでください。電源を切るとデータが消失する恐れがあります。

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