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バーチャル展示会 SEMICON Japan 2007
＞ 高精密ガントリソリューション
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特長
マシンコントローラMP2000シリーズ、Σ-Vとリニアモータ（コアレス形）を組合せて、エアベアリングを用いたガントリシステムを構成しています。
リニアモータの位置検出に、nmレベルの高分解能スケールを使用して、ガントリシステムを高精密に位置決めさせることが可能です。
マシンビジョンシステムMYVISでステージ上のマーク位置検出をおこない、繰り返し位置決め精度を測定して高い繰り返し精度があることを示しています。
ムービーをご視聴いただくには，専用の再生ソフトをパソコンにインストールしていただく必要があります。各ムービーボタンを押しても再生が始まらない場合は，お使いのパソコンにソフトが搭載されていない可能性があります。
デモ機構成
主要構成製品
マシンコントローラ MP2500
マシンビジョンシステム MYVIS YV250
ACサーボドライブ Σ-Vシリーズ
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