e-メカサイト 株式会社 安川電機
  ホーム > ショールーム > バーチャル展示会 SEMICON Japan 2006 > 走行軸付き300mmウエハ搬送双腕クリーンロボット  
 
バーチャル展示会 SEMICON Japan 2006 |展示物一覧 |前の展示物 | 次の展示物
用途にあわせた組合せを選択可能

実績に基づいた高品質・高性能クリーンロボットで300mmウエハを高速搬送します。
4FOUP対応のリニア駆動走行軸と双腕クリーンロボットによる高速で低騒音なウエハ搬送の実演を行います。

特長
     
  お客様のシステムの仕様、用途に合わせて、モジュール化されたマニピュレータや
走行軸、プリアライナを自由に組み合わせることが可能です。

用途にあわせた組合せを選択可能


主要構成製品
   
NXC100コントローラ
  ロボット SEMISTAR-Mシリーズ
  リニアモータ
  プリアライナ
   
 |展示物一覧 |前の展示物 | 次の展示物 Page Top
| e-メカサイトのご利用にあたって | 個人情報の取り扱いについて  |
Copyright (C) 2006 YASKAWA ELECTRIC CORPORATION. All Rights Reserved.