半導体ウエハ搬送用 周辺装置

SR100対応 吸着式/エッジグリップ式プリアライナ

PVR1130 PER1130

吸着式プリアライナ PVR1130

  • アライメント精度70%以上の改善、高精度化を実現
  • アライメント時間50%以上の改善、高速化を実現
  • ウエハ方向へ23 mmの寸法削減

エッジグリップ式プリアライナ PER1130

  • アライメント精度30%以上の改善、高精度化を実現
  • アライメント時間10%の改善、高速化を実現

適用コントローラ : SR100

お問い合わせ カタログ
  • 仕様
PVR1130(吸着式プリアライナ)
名称 PVR1130
形式 XU-ACP130-R00
適用ウエハサイズ 300 mm
動作範囲 θ軸 無制限
ノッチ合せ精度 ±0.03°
位置合せ時間 1.7 s以下
ウエハエッジセンサ CCDセンサ
センサ光源 LED
ウエハ把持 ウエハ吸着
概略質量 5.8 kg
概略寸法 158(幅)×183.5(高さ)×317(奥行) mm
PER1130(エッジグリップ式プリアライナ)
名称 PER1130
形式 XU-ACP330-R00
適用ウエハサイズ 300 mm
動作範囲 θ軸 無制限(ソフトリミットあり)
ノッチ合せ精度 ±0.1°
位置合せ時間 5.0 s以下
ノッチ検出センサ LEDセンサ
センサ光源 -
ウエハ把持 エッジグリップ方式
概略質量 8.8 kg
概略寸法 210(幅)×314.5(高さ)×330(奥行) mm