半導体ウエハ搬送用 周辺装置

NXC100対応 吸着式/エッジグリップ式プリアライナ

PV11 PE11B

吸着式プリアライナ PV11

  • コンパクト設計により、298×115 mmの小フットプリントを実現
  • ステージまでの厚みを薄型化(55 mm)
  • 高速、高精度を実現

エッジグリップ式プリアライナ PE11B

  • ウエハのノッチ合わせ、中心合わせをプリアライナ単独で行うことが可能
  • 高速、高精度を実現

適用コントローラ : NXC100 (ウエハ搬送ロボット用)

お問い合わせ カタログ
  • 仕様
PV11(吸着式プリアライナ)
名称 PV11
形式 XU-ACP130-A13
適用ウエハサイズ 300 mm
動作範囲 θ軸 無制限
ノッチ合せ精度 ±0.1°
位置合せ時間 3.5 s以下
ウエハエッジセンサ CCDセンサ
センサ光源 LED
ウエハ把持 真空吸着方式
概略質量 3.9 kg
概略寸法 115(幅)×171(高さ)×328(奥行) mm
センサ部の設定位置変更で200 mmウエハに対応可能な共用タイプも準備しています。
PE11B(エッジグリップ式プリアライナ)
名称 PE11B
形式 XU-ACP330-B30
適用ウエハサイズ 300 mm
動作範囲 θ軸 無制限
ノッチ合せ精度 ±0.1°
位置合せ時間 5.5 s以下
ノッチ検出センサ LEDセンサ
センサ光源 -
ウエハ把持 エッジグリップ方式
概略質量 7 kg
概略寸法 348(幅)×246(高さ)×210(奥行) mm