ロボット
SEMISTARシリーズのクリーンロボットは，高クリーン域でウエハサイズ300mmの高速･高精度搬送，移載作業が可能。真空対応ロボットは，高真空中で大形サイズの有機ELガラス･パネル搬送が可能。リニア走行軸やプリアライナ，ロードポート，ウエハソータ，EFEMなども準備しています。
専用ツール
半導体ウエハ･有機ELガラス搬送用途での主な専用ツールは，ウエハや有機ELガラスのハンドリング部における エンドエフェクタ（ハンド）と，半導体製造システム用の関連機器の一部などが該当します。これらはお客様のご要望に よって適用方法や装置，場所，システム構成など多種多様で多岐に渡ります。
また，多くの技術的ノウハウ，お客様における半導体ウエハや有機ELパネルの製造ノウハウが存在しますので， 特に，専用ツールとしての内容紹介は省略させていただきます。「適用ロボット」及び「適用事例」等での写真事例を ご参照して下さい。
お客様で必要とする個別･固有のツール等についてのお問い合わせは，当社代理店または営業部門にお尋ねください。
