半導体ウエハ、有機EL·液晶·太陽電池用ガラス搬送

3軸水平多関節 : SEMISTAR-VD20S

SEMISTAR-VD20S
  • 最大で第4世代ハーフ(460×730 mm級)のガラス基板に対応
  • 高剛性設計と高性能制御により、低振動高精度位置決めを実現
  • 真空内ベルト駆動を採用していないため低放出ガス性能を実現
  • アーム内に基板有無センサ用配線を内蔵可能
双腕 真空対応ロボット
可搬質量
20 kg/アーム
耐真空度
1×10-6 Pa

適用コントローラ : DX100 (真空ロボット用)

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  • 仕様
項目 仕様 備考
名称 SEMISTAR-VD20S
形式 XU-RVD800S6-A10
(センサケーブルあり)
構造 水平多関節(3自由度)  
アーム方式 単腕
可搬質量 20 kg ハンド質量含む
繰り返し位置決め精度∗1 各軸±0.3 mm ハンド取付けフランジ中心での値
動作範囲 L軸(伸縮) 1300 mm  
S軸(旋回) -165° ~ +165°
U軸(昇降) 100 mm
動作時間∗2
(最高速度での動作時)
L軸(伸縮) 2.5 s以下 1300 mmストローク
S軸(旋回) 3.7 s以下 330°ストローク(ただし、L=0)
U軸(昇降) 2.5 s以下 100 mmストローク
アーム横揺れ精度 ±2 mm以下 水平方向、ハンド取付け部中心での値
許容慣性モーメント(GD2/4) 14 kg·m2 ハンド質量含む、ハンド取付け部中心での値
耐真空度 1×10-6 Pa
本体概略質量 430 kg
∗1
JIS B8432ポーズ繰返し精度に準じています。ワーク有無等の負荷変動や使用速度の差異、温度変化による影響は含みません。
∗2
動作時間は基板搭載時の搬送時間を保証するものではありません。また、ハンド形状やハンド取付け部剛性などによって共振現象が発生する場合は、運転速度を変更してご使用していただく場合があります。