半導体ウエハ、有機EL·液晶·太陽電池用ガラス搬送

3軸水平多関節 : SEMISTAR-M101

SEMISTAR-M101
  • 当社独自の構造により、搬送精度の向上、高速で滑らかな搬送を実現
  • 電源投入時の原点復帰が不要で高い信頼性を確保
  • 走行軸 TLシリーズに搭載することで、3FOUP、4FOUPにも対応可能
  • ISOクラス 1
3軸 単腕クリーンロボット
適用ウエハサイズ
200 mm
300 mm
対応FOUP数
4FOUP∗

∗走行軸搭載時

適用コントローラ : NXC100 (ウエハ搬送ロボット用)

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名称 SEMISTAR-M101
形式 XU-RC350S-C03
適用ウエハサイズ 200 mm/300 mm
対応エンドエフェクタ 真空吸着/エッジグリップ
標準エンドエフェクタの長さ∗1 295 mm
構造 水平多関節 (3自由度)
アーム方式 単腕
可搬質量∗2 1 kg
動作範囲 R軸(伸縮)∗3 650 mm
θ軸(旋回) 6.28 rad、360°
Z軸(昇降) 380 mm
B軸(先端回転) -
最小旋回直径∗4 φ475 mm
最大速度 R軸(伸縮) 4.36 rad/s、250°/s
θ軸(旋回) 5.76 rad/s、330°/s
Z軸(昇降) 300 mm/s
リニア -
位置決め精度 R軸(伸縮) 0.1 mm(P-P)
θ軸(旋回)∗5 0.1 mm(P-P)
Z軸(昇降) 0.1 mm(P-P)
B軸(先端回転) -
クリーン度∗6 ISOクラス1
本体概略質量 37 kg
∗1
エンドエフェクタ第3アームへの取付け中心からウエハ中心位置までの長さです。
∗2
エンドエフェクタ質量を含みます。
∗3
標準エンドエフェクタ取付け時のロボットθ軸(旋回)中心からウエハ中心までの距離です。
∗4
標準エンドエフェクタ取付け時の値です。
∗5
標準エンドエフェクタ取付け時のアーム伸端時におけるウエハ中心位置です。
∗6
真空吸着のエンドエフェクタの場合です。エッジグリップタイプはISOクラス2となります。
(注)
本表はSI単位系で記載しています。