ロボット
半導体ウエハ,有機EL・液晶・太陽電池用ガラス搬送
クリーンロボットSEMISTAR-Mシリーズは,単腕及び双腕タイプを揃えており,高クリーン域でウエハサイズ300mmの高速・高精度搬送,移載作業ができます。また,真空対応ロボットSEMISTAR-Vシリーズも,単腕,双腕タイプを揃え,可搬質量は最大で95kgまで対応でき,高真空中で大形サイズの有機ELガラスやマスク,液晶ガラス,太陽電池用ガラス基板などの搬送が可能です。この他,リニア走行軸やプリアライナ,ロードポート,ウエハソータ,EFEMなども取り揃えています。
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クリーンロボットシリーズは,高クリーン域で半導体ウエハ200mm,300mmサイズの高速・高精度搬送,移載作業が可能,また真空対応ロボットシリーズは,可搬質量95kgタイプまで準備し,高真空中で小形~大形サイズ(第6世代クラスの有機ELガラスや液晶ガラス基板),パネルの高速搬送や移載作業などが可能です。各種システムの信頼性向上,高スループットに貢献できます。 また,半導体製造装置用として,ロボット搭載用のリニア走行軸,ロードポート,プリアライナ,ウエハソータ,フロントエンドモジュール(EFEM)なども揃えており,ご要望に充分お応えできます。 永年培ったロボット技術と開発力,豊富なアプリケーション技術によって,お客様に最適なソリューションをお届け致します。 |
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