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ロボット

半導体ウエハ・有機ELガラス搬送

半導体ウエハ・有機ELガラス搬送

SEMISTARシリーズのクリーンロボットは,高クリーン域でウエハサイズ300mmの高速・高精度搬送,移載作業が可能。真空対応ロボットは,高真空中で大形サイズの有機ELガラス・パネル搬送が可能。リニア走行軸やプリアライナ,ロードポート,ウエハソータ,EFEMなども準備しています。



半導体ウエハ搬送 当社の半導体ウエハ搬送用途向けのクリーンロボットシリーズ,及び有機ELガラス基板・パネル搬送用途向けの真空対応ロボットシリーズを,マニピュレータを対象に,
“SEMISTAR”(セミスタ)の名称で新しく呼ぶことになりました。
従来の一般産業用ロボットの名称
“MOTOMAN”(モートマン)と同様にご愛用をよろしくお願いいたします。

クリーンロボットシリーズは,高クリーン域で半導体ウエハ200mm,300mmサイズの高速・高精度搬送,移載作業が可能,また真空対応ロボットシリーズは,高真空中で小形~大形サイズの有機ELガラス・パネルの高速搬送や移載作業などが可能です。各種システムの信頼性向上,高スループットに貢献できます。

また,半導体製造装置用として,ロボット搭載用のリニア走行軸,ロードポート,プリアライナ,ウエハソータ,フロントエンドモジュール(EFEM)なども揃えており,ご要望に充分お応えできます。

永年培ったロボット技術と開発力,豊富なアプリケーション技術によって,お客様に最適なソリューションをお届け致します。

半導体ウエハ搬送アプリケーション例 半導体ウエハ搬送アプリケーション例


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