ロボット
半導体ウエハ，有機EL･液晶･太陽電池用ガラス搬送
クリーンロボットSEMISTAR-Mシリーズは，単腕及び双腕タイプを揃えており，高クリーン域でウエハサイズ300mmの高速･高精度搬送，移載作業ができます。また，真空対応ロボットSEMISTAR-Vシリーズも，単腕，双腕タイプを揃え，可搬質量は最大で95kgまで対応でき，高真空中で大形サイズの有機ELガラスやマスク，液晶ガラス，太陽電池用ガラス基板などの搬送が可能です。この他，リニア走行軸やプリアライナ，ロードポート，ウエハソータ，EFEMなども取り揃えています。
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クリーンロボットシリーズは，高クリーン域で半導体ウエハ200mm，300mmサイズの高速･高精度搬送，移載作業が可能，また真空対応ロボットシリーズは，可搬質量95kgタイプまで準備し，高真空中で小形～大形サイズ（第6世代クラスの有機ELガラスや液晶ガラス基板），パネルの高速搬送や移載作業などが可能です。各種システムの信頼性向上，高スループットに貢献できます。 また，半導体製造装置用として，ロボット搭載用のリニア走行軸，ロードポート，プリアライナ，ウエハソータ，フロントエンドモジュール（EFEM）なども揃えており，ご要望に充分お応えできます。 永年培ったロボット技術と開発力，豊富なアプリケーション技術によって，お客様に最適なソリューションをお届け致します。 |
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