ロボット
半導体ウエハ･有機ELガラス搬送
SEMISTARシリーズのクリーンロボットは，高クリーン域でウエハサイズ300mmの高速･高精度搬送，移載作業が可能。真空対応ロボットは，高真空中で大形サイズの有機ELガラス･パネル搬送が可能。リニア走行軸やプリアライナ，ロードポート，ウエハソータ，EFEMなども準備しています。
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当社の半導体ウエハ搬送用途向けのクリーンロボットシリーズ，及び有機ELガラス基板･パネル搬送用途向けの真空対応ロボットシリーズを，マニピュレータを対象に， “SEMISTAR”（セミスタ）の名称で新しく呼ぶことになりました。 従来の一般産業用ロボットの名称 “MOTOMAN”（モートマン）と同様にご愛用をよろしくお願いいたします。 クリーンロボットシリーズは，高クリーン域で半導体ウエハ200mm，300mmサイズの高速･高精度搬送，移載作業が可能，また真空対応ロボットシリーズは，高真空中で小形～大形サイズの有機ELガラス･パネルの高速搬送や移載作業などが可能です。各種システムの信頼性向上，高スループットに貢献できます。 また，半導体製造装置用として，ロボット搭載用のリニア走行軸，ロードポート，プリアライナ，ウエハソータ，フロントエンドモジュール（EFEM）なども揃えており，ご要望に充分お応えできます。 永年培ったロボット技術と開発力，豊富なアプリケーション技術によって，お客様に最適なソリューションをお届け致します。 |
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