ロボット
クリーンロボットSEMISTAR-Mシリーズは,単腕及び双腕タイプを揃えており,高クリーン域でウエハサイズ300mmの高速・高精度搬送,移載作業ができます。また,真空対応ロボットSEMISTAR-Vシリーズも,単腕,双腕タイプを揃え,可搬質量は最大で75kgまで対応でき,高真空中で大形サイズの有機ELガラスやマスク,液晶ガラス,太陽電池用ガラス基板などの搬送が可能です。この他,リニア走行軸やプリアライナ,ロードポート,ウエハソータ,EFEMなども取り揃えています。
機能
半導体ウエハ,有機EL・液晶・太陽電池用ガラス搬送用途での主な機能は,ロボットの動作性能や,ガラス基板の各種プロセス処理
装置へのロード/アンロード,キャリアFOUPなどへの収納・取出,移載に関してのハンドリング機能,制御機能などが
当たります。これらには多くの設計・製造技術ノウハウや,お客様における半導体ウエハ・有機ELパネル製造上での
ノウハウが存在します。
従って,本用途での機能紹介としての内容は省略させていただきます。
お客様で必要とする個別・固有の機能等についてのお問い合わせは,当社代理店または営業部門にお尋ねください。
従って,本用途での機能紹介としての内容は省略させていただきます。
お客様で必要とする個別・固有の機能等についてのお問い合わせは,当社代理店または営業部門にお尋ねください。


