ロボット
クリーンロボットSEMISTAR-Mシリーズは，単腕及び双腕タイプを揃えており，高クリーン域でウエハサイズ300mmの高速･高精度搬送，移載作業ができます。また，真空対応ロボットSEMISTAR-Vシリーズも，単腕，双腕タイプを揃え，可搬質量は最大で75kgまで対応でき，高真空中で大形サイズの有機ELガラスやマスク，液晶ガラス，太陽電池用ガラス基板などの搬送が可能です。この他，リニア走行軸やプリアライナ，ロードポート，ウエハソータ，EFEMなども取り揃えています。
機能
半導体ウエハ，有機EL･液晶･太陽電池用ガラス搬送用途での主な機能は，ロボットの動作性能や，ガラス基板の各種プロセス処理
装置へのロード/アンロード，キャリアFOUPなどへの収納･取出，移載に関してのハンドリング機能，制御機能などが
当たります。これらには多くの設計･製造技術ノウハウや，お客様における半導体ウエハ･有機ELパネル製造上での
ノウハウが存在します。
従って，本用途での機能紹介としての内容は省略させていただきます。
お客様で必要とする個別･固有の機能等についてのお問い合わせは，当社代理店または営業部門にお尋ねください。
従って，本用途での機能紹介としての内容は省略させていただきます。
お客様で必要とする個別･固有の機能等についてのお問い合わせは，当社代理店または営業部門にお尋ねください。
