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ロボット

半導体ウエハ・有機ELガラス搬送

SEMISTARシリーズのクリーンロボットは,高クリーン域でウエハサイズ300mmの高速・高精度搬送,移載作業が可能。真空対応ロボットは,高真空中で大形サイズの有機ELガラス・パネル搬送が可能。リニア走行軸やプリアライナ,ロードポート,ウエハソータ,EFEMなども準備しています。



機能


半導体ウエハ・有機ELガラス搬送用途での主な機能は,ロボットの動作性能や,ガラス基板の各種プロセス処理 装置へのロード/アンロード,キャリアFOUPなどへの収納・取出,移載に関してのハンドリング機能,制御機能などが 当たります。これらには多くの設計・製造技術ノウハウや,お客様における半導体ウエハ・有機ELパネル製造上での ノウハウが存在します。

従って,本用途での機能紹介としての内容は省略させていただきます。

お客様で必要とする個別・固有の機能等についてのお問い合わせは,当社代理店または営業部門にお尋ねください。



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