ロボット
SEMISTARシリーズのクリーンロボットは，高クリーン域でウエハサイズ300mmの高速･高精度搬送，移載作業が可能。真空対応ロボットは，高真空中で大形サイズの有機ELガラス･パネル搬送が可能。リニア走行軸やプリアライナ，ロードポート，ウエハソータ，EFEMなども準備しています。
機能
半導体ウエハ･有機ELガラス搬送用途での主な機能は，ロボットの動作性能や，ガラス基板の各種プロセス処理
装置へのロード/アンロード，キャリアFOUPなどへの収納･取出，移載に関してのハンドリング機能，制御機能などが
当たります。これらには多くの設計･製造技術ノウハウや，お客様における半導体ウエハ･有機ELパネル製造上での
ノウハウが存在します。
従って，本用途での機能紹介としての内容は省略させていただきます。
お客様で必要とする個別･固有の機能等についてのお問い合わせは，当社代理店または営業部門にお尋ねください。
従って，本用途での機能紹介としての内容は省略させていただきます。
お客様で必要とする個別･固有の機能等についてのお問い合わせは，当社代理店または営業部門にお尋ねください。
