ロボット
クリーンロボットSEMISTAR-Mシリーズは,単腕及び双腕タイプを揃えており,高クリーン域でウエハサイズ300mmの高速・高精度搬送,移載作業ができます。また,真空対応ロボットSEMISTAR-Vシリーズも,単腕,双腕タイプを揃え,可搬質量は最大で75kgまで対応でき,高真空中で大形サイズの有機ELガラスやマスク,液晶ガラス,太陽電池用ガラス基板などの搬送が可能です。この他,リニア走行軸やプリアライナ,ロードポート,ウエハソータ,EFEMなども取り揃えています。
クリーンロボットSEMISTAR-Mシリーズは,単腕及び双腕タイプを揃えており,高クリーン域でウエハサイズ300mmの高速・高精度搬送,移載作業ができます。また,真空対応ロボットSEMISTAR-Vシリーズも,単腕,双腕タイプを揃え,可搬質量は最大で75kgまで対応でき,高真空中で大形サイズの有機ELガラスやマスク,液晶ガラス,太陽電池用ガラス基板などの搬送が可能です。この他,リニア走行軸やプリアライナ,ロードポート,ウエハソータ,EFEMなども取り揃えています。