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ロボット

半導体ウエハ，有機EL･液晶･太陽電池用ガラス搬送

クリーンロボットSEMISTAR-Mシリーズは，単腕及び双腕タイプを揃えており，高クリーン域でウエハサイズ300mmの高速･高精度搬送，移載作業ができます。また，真空対応ロボットSEMISTAR-Vシリーズも，単腕，双腕タイプを揃え，可搬質量は最大で75kgまで対応でき，高真空中で大形サイズの有機ELガラスやマスク，液晶ガラス，太陽電池用ガラス基板などの搬送が可能です。この他，リニア走行軸やプリアライナ，ロードポート，ウエハソータ，EFEMなども取り揃えています。

カタログ

半導体ウエハ，有機EL･液晶･太陽電池用ガラス搬送

安川産業用ロボット
真空内ハンドリングロボットシリーズ
日本語
公開日：2009/11/12
資料番号：KAJP CM20100 02D <4>-0
英語
公開日：2009/11/20
資料番号：KAEP CM20100 02D <4>-0
クリーン･真空技術とモーションコントロール技術による
半導体製造装置への
トータルソリューション
日本語
公開日：2009/09/25
資料番号：KA-CM20-0J <13>-0
英語
公開日：2009/10/08
資料番号：KAEP CM20000 00H <7>-0
安川 半導体製造装置用機器
超精密XYエアステージ
日本語
公開日：2008/10/03
資料番号：CHJP CM30900 00B <2>-0
英語
公開日：2004/11/30
資料番号：CHEP CM30900 00B <1>-0
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