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ロボット

半導体ウエハ･有機ELガラス搬送

SEMISTARシリーズのクリーンロボットは，高クリーン域でウエハサイズ300mmの高速･高精度搬送，移載作業が可能。真空対応ロボットは，高真空中で大形サイズの有機ELガラス･パネル搬送が可能。リニア走行軸やプリアライナ，ロードポート，ウエハソータ，EFEMなども準備しています。

カタログ

半導体ウエハ･有機ELガラス搬送

安川産業用ロボット
真空内ハンドリングロボットシリーズ
日本語
公開日：2007/05/18
資料番号：KAJP CM20100 02C <3>-0
英語
公開日：2007/05/18
資料番号：KAEP CM20100 02C <3>-0
クリーン･真空技術とモーションコントロール技術による
半導体製造装置への
トータルソリューション
日本語
公開日：2008/05/16
資料番号：KA-CM20-0H <11>-0
英語
公開日：2007/10/19
資料番号：KAEP CM20000 00G <6>-0
安川 半導体製造装置用機器
超精密XYエアステージ
日本語
公開日：2008/10/03
資料番号：CHJP CM30900 00B <2>-0
英語
公開日：2004/11/30
資料番号：CHEP CM30900 00B <1>-0
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