ロボット
クリーンロボットSEMISTAR-Mシリーズは，単腕及び双腕タイプを揃えており，高クリーン域でウエハサイズ300mmの高速･高精度搬送，移載作業ができます。また，真空対応ロボットSEMISTAR-Vシリーズも，単腕，双腕タイプを揃え，可搬質量は最大で75kgまで対応でき，高真空中で大形サイズの有機ELガラスやマスク，液晶ガラス，太陽電池用ガラス基板などの搬送が可能です。この他，リニア走行軸やプリアライナ，ロードポート，ウエハソータ，EFEMなども取り揃えています。
仕様
| 名称 | SEMISTAR-M112 （単腕クリーンロボット：先端回転軸付き） |
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| 形式 | XU-RC400M-C03 | |
| 適用ウエハサイズ | 200mm/300mm | |
| 対応エンドエフェクタ | 真空吸着/エッジグリップ | |
| 標準エンドエフェクタの長さ*1 | 355mm | |
| 動作軸数 | 4 | |
| アーム方式 | 単腕 | |
| 可搬質量*2 | 1kg | |
| 動 作 範 囲 |
R軸(伸縮)*3 | 737mm |
| θ軸(旋回) | 5.79rad，332° | |
| Z軸（昇降） | 355mm | |
| B軸（先端回転） | 6.11rad，350° | |
| 最小旋回直径*4 | 600mm | |
| 最 大 速 度 |
R軸(伸縮) | 4.49rad/s，257°/s |
| θ軸(旋回) | 4.49rad/s，257°/s | |
| Z軸（昇降） | 300mm/s | |
| オフセットリニアモーション | 1100mm/s | |
| 位置決め 精度 |
R軸(伸縮) | 0.1mm（P-P） |
| θ軸(旋回)*5 | 0.1mm（P-P） | |
| Z軸（昇降） | 0.1mm（P-P） | |
| B軸（先端回転） | 0.1mm（P-P） | |
| クリーン度*6 | ISOクラス1 | |
| 本体概略質量 | 55kg | |
*1 エンドエフェクタのアームへの取り付け中心からウエハ中心位置までの長さです。
*2 エンドエフェクタ質量を含みます。
*3 標準エンドエフェクタ取り付け時のロボットθ軸（旋回）中心からウエハ中心までの距離です。
*4 標準エンドエフェクタ取り付け時の値です。
*5 標準エンドエフェクタ取り付け時のアーム伸端時におけるウエハ中心位置です。
*6 真空吸着のエンドエフェクタの場合です。エッジグリップタイプはISOクラス2となります。
(注) 本表はSI単位系で記載しています。
