ロボット
クリーンロボットSEMISTAR-Mシリーズは，単腕及び双腕タイプを揃えており，高クリーン域でウエハサイズ300mmの高速･高精度搬送，移載作業ができます。また，真空対応ロボットSEMISTAR-Vシリーズも，単腕，双腕タイプを揃え，可搬質量は最大で75kgまで対応でき，高真空中で大形サイズの有機ELガラスやマスク，液晶ガラス，太陽電池用ガラス基板などの搬送が可能です。この他，リニア走行軸やプリアライナ，ロードポート，ウエハソータ，EFEMなども取り揃えています。
サイト内検索
